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연마용 조성물

  • 기술번호 : KST2015069686
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 연마제 조성물은, 88질량% 내지 93질량%의 물(water), 6질량% 내지 10질량%의 실리카(silica) 계열 물질, 0.3질량% 이하 의 고분자 물질 및 0.3질량% 내지 1질량%의 알칼리 계열 물질을 포함한다.
Int. CL H01L 21/463 (2006.01) C09K 3/14 (2006.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020120138987 (2012.12.03)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1403718-0000 (2014.05.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.12.03)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤삼문 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-1000486-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0064656-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0137708-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0330885-51
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0330884-16
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0344502-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
6질량% 내지 10질량%의 실리카(silica) 계열 물질, 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 실리카 계열 물질은 8
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 실리카 계열 물질은 실리콘 산화물(SiO2)인 연마제 조성물
4 4
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 고분자 물질은 하이드록시 에틸 셀룰로오스(hydroxy ethyl cellulose)인 연마제 조성물
5 5
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 알칼리 계열 물질은 암모늄 하이드록사이드(NH4OH)인 연마제 조성물
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서, 상기 실리카 계열 물질의 연마제 사이즈는 35nm 이상인 연마제 조성물
8 8
제1항 내지 제2항 중 어느 하나의 항에 따른 연마용 조성물을 이용하여 반도체 기판을 연마하는 방법
9 9
제1항 내지 제2항 중 어느 하나의 항에 따른 연마용 조성물을 이용한 연마 공정을 수행하여 얻어진 반도체 기판
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.