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제1패널기판에 제1캐리어기판을 결합시키고, 제2패널기판에 제2캐리어기판을 결합시키는 단계;상기 제1캐리어기판이 결합된 제1패널기판 및 상기 제2캐리어기판이 결합된 제2패널기판을 합착하여 합착기판을 제조하는 단계; 및상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계를 포함하고,상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는 상기 합착기판이 제1스테이지와 제2스테이지 사이에 위치되도록 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 합착기판을 상기 제1스테이지에 고정시키는 단계와, 상기 제2스테이지를 상기 합착기판 쪽으로 이동시키는 단계를 포함하며,상기 제2스테이지를 상기 합착기판 쪽으로 이동시키는 단계는 상기 제2스테이지 하측에 결합된 밀폐부재가 상기 제1캐리어기판 방향으로 이동하여 상기 제1캐리어기판과 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간을 형성하는 단계를 포함하는 디스플레이패널 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,상기 제1캐리어기판을 상기 제2스테이지에 흡착시켜서 상기 제1캐리어기판의 전부를 상기 제1패널기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,상기 제1캐리어기판의 일부가 상기 제1패널기판으로부터 이격되도록 상기 제1캐리어기판의 일부를 이동시켜서 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 일부를 가분리하는 단계; 및상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 일부가 가분리되면, 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 전부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법
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4
제1항에 있어서, 상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는,상기 제2캐리어기판이 제1스테이지에 접촉되도록 상기 합착기판을 상기 제1스테이지에 안착시키고, 상기 제1패널기판으로부터 상기 제1캐리어기판의 전부를 분리하는 단계;상기 제1패널기판이 상기 제1스테이지에 접촉되도록 상기 합착기판을 반전시킨 후에 상기 제1스테이지에 안착시키는 단계; 및상기 제2패널기판으로부터 상기 제2캐리어기판의 전부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법
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제1항에 있어서,상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판이 분리되면, 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판이 분리된 합착기판을 스크라이빙하는 단계를 더 포함하고;상기 합착기판으로부터 상기 제1캐리어기판과 상기 제2캐리어기판을 분리하는 단계는, 상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지 중에서 적어도 하나를 가열하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조방법
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6
캐리어기판이 결합된 합착기판을 지지하기 위한 제1스테이지;상기 제1스테이지로부터 이격되게 설치되는 제2스테이지; 및상기 제2스테이지에 형성된 흡착공에 연결되게 상기 제2스테이지에 설치되고, 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판을 분리하기 위해 상기 흡착공을 통해 상기 캐리어기판을 흡착하는 분리기구를 포함하고,상기 제2스테이지의 하측에는 상기 제1스테이지 방향으로 돌출되는 밀폐부재를 포함하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치
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7
제6항에 있어서,상기 제2스테이지를 이동시키기 위한 이동기구를 더 포함하고,상기 이동기구는 상기 밀폐부재가 상기 캐리어기판에 접촉되어 상기 캐리어기판과 상기 제2스테이지 사이에 밀폐공간이 형성되도록 상기 제2스테이지를 상기 제1스테이지에 지지된 합착기판 쪽으로 이동시키고;상기 분리기구는 상기 흡착공을 통해 상기 밀폐공간으로부터 유체를 흡입하여 상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판이 분리되도록 상기 캐리어기판을 흡착하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치
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8
제6항에 있어서,상기 밀폐부재는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출되는 접촉부재, 및 상기 접촉부재 내측에 위치되게 형성된 밀폐공을 포함하고;상기 접촉부재는 상기 제2스테이지에서 상기 제1스테이지를 향하는 방향으로 돌출될수록 크기가 감소되면서 상기 밀폐공 외측 방향으로 경사지게 형성되며;상기 제2스테이지는 상기 합착기판으로 분리된 캐리어기판에 가압되어 접혀지는 접촉부재를 수용하기 위한 수용홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치
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9
제6항에 있어서,상기 캐리어기판에서 상기 합착기판으로부터 돌출된 돌출부에 접촉되기 위한 가분리기구; 및상기 합착기판으로부터 상기 캐리어기판의 일부를 분리하기 위해 상기 캐리어기판의 돌출부가 상기 합착기판을 기준으로 승강하도록 상기 가분리기구를 승강시키는 승강기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치
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10
제6항에 있어서,상기 제1스테이지를 가열하기 위한 제1가열기구, 및 상기 캐리어기판의 일부가 상기 합착기판으로부터 분리되도록 상기 캐리어기판과 상기 합착기판 사이를 향해 유체를 분사하는 분사기구를 포함하고;상기 제1가열기구는 상기 제1스테이지를 N개(N은 1보다 큰 정수)의 구역으로 나누어 구역별로 가열온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 디스플레이패널 제조용 캐리어기판 분리장치
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