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광 스위칭 방식의 엑스-선 영상 검출기에 있어서,복수개의 전극 라인이 형성된 유리 기판에 상부로부터 순차적으로 적층된 엑스선 광전도층(X-ray PCL; photoconducting layer), 전하 수집층(CAL; charge accumulation layer) 및 리드아웃 광전도층(readout PCL)을 포함하되,상기 복수개의 전극 라인 중 서로 인접한 두 개의 전극 라인 간의 사이에 상기 전극 라인을 따라 형성되어, 서로 인접한 전극 라인 간의 누설전류를 차단하는 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 전극 라인은, 서로 교번하여 복수개가 형성된 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인을 포함하며,상기 절연층은, 서로 인접한 상기 그라운드 전극 라인과 상기 데이터 전극 라인의 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 2 항에 있어서,상기 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인은, 서로 교번하여 유리 기판에 각각 복수개가 형성되고,상기 절연층은, 서로 인접한 상기 그라운드 전극 라인과 상기 데이터 전극 라인 사이의 유리 기판에 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 2 항에 있어서,상기 그라운드 전극 라인 또는 상기 데이터 전극 라인 중 어느 하나는 상기 유리 기판 상에 일정 간격씩 이격되어 복수개가 형성되고,상기 절연층은, 상기 그라운드 전극 라인 또는 상기 데이터 전극 라인 중 어느 하나 사이의 상기 유리 기판에 형성되며,상기 그라운드 전극 라인 또는 상기 데이터 전극 라인 중 다른 하나는 상기 절연층에 상기 어느 하나에 대응하여 복수개가 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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광 스위칭 방식의 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법에 있어서,유리 기판에 복수개의 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인을 서로 교번하여 형성시키는 단계;복수개의 상기 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인이 형성된 유리 기판의 상부에 절연 물질을 증착하는 단계;복수개의 상기 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인에 대응되는 패턴이 형성된 보호막을 상기 절연 물질이 증착된 상부에 형성시키고 에칭하는 단계;상기 보호막을 제거하여 절연층이 형성되는 단계; 및순차적으로 리드아웃 광전도층(readout PCL), 전하 수집층(CAL; charge accumulation layer) 및 엑스선 광전도층(X-ray PCL; photoconducting layer)을 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 절연 물질은,실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx) 중 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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광 스위칭 방식의 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법에 있어서,유리 기판에 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인 중 선택된 어느 하나의 전극 라인을 일정 간격씩 이격시켜 복수개 형성시키는 단계;상기 선택된 어느 하나의 전극 라인이 형성된 유리 기판의 상부에 절연 물질을 증착하는 단계; 상기 선택된 어느 하나의 전극 라인에 대응되는 패턴이 형성된 보호막을 상기 절연 물질이 증착된 상부에 형성시키고 에칭하는 단계;상기 보호막을 제거하여 절연층이 형성되는 단계; 상기 절연층의 상부에 상기 선택된 어느 하나의 전극 라인에 대응시켜 그라운드 전극 라인과 데이터 전극 라인 중 다른 하나의 전극 라인을 복수개 형성시키는 단계; 및순차적으로 리드아웃 광전도층(readout PCL), 전하 수집층(CAL; charge accumulation layer) 및 엑스선 광전도층(X-ray PCL; photoconducting layer)을 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 절연 물질은,실리콘 산화물(SiO2) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 다른 하나의 전극 라인을 복수개 형성시키는 단계는,상기 다른 하나의 전극 라인의 패턴에 대응되는 마스크를 상기 절연층의 상부에 형성시키는 단계; 상기 다른 하나의 전극 라인을 형성시키기 위한 물질을 증착시키는 단계; 및리프트 오프(lift off) 방식으로 마스크를 제거하여 상기 절연층의 상부에 상기 다른 하나의 전극 라인이 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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