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광 스위칭 방식의 엑스-선 영상 검출기에 있어서,복수개의 전극 라인이 형성된 유리 기판과상기 유리 기판에 상부로부터 순차적으로 적층된 엑스선 광전도층(X-ray PCL; photoconducting layer), 전하 수집층(CAL; charge accumulation layer) 및 리드아웃 광전도층(readout PCL)을 포함하되,상기 전하 수집층은, 상면, 하면 또는 두면 모두에 전하 축적을 영역별로 집중시키거나 상기 리드아웃 광전도층의 내부 전계를 영역별로 유도하기 위해 상기 유리 기판의 전극 라인에 대응하여 절연 패턴이 형성되며,상기 절연 패턴은, 상기 유리 기판의 전극 라인과 직교하는 방향으로 서로 일정간격 이격되어 평행한 복수개의 스트립 라인으로 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 절연 패턴은, 상기 전극 라인과 평행한 복수개의 스트립 라인을 더 포함하여, 격자 배열 형태로 형성되되, 상기 유리 기판의 전극 라인이 상기 격자의 중심부를 지나도록 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 절연 패턴은,상기 전하 수집층의 상면 또는 하면 중 어느 하나의 면에는 상기 유리 기판의 전극 라인과 직교하는 방향으로 서로 일정간격 이격되어 평행한 스트립 라인으로 형성되고, 다른 하나의 면에는 상기 유리 기판의 전극 라인과 평행하게 상기 전극 라인 간의 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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제 1 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 절연 패턴은, 절연성을 가지는 폴리머 계열의 파릴렌(parylene), 폴리에틸렌(Polyethylene : PE), 또는 폴리테트라플루오르에틸렌(Polytetrafluoroethylene : PTFE) 중 어느 하나 이상을 포함한 물질로 형성된 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기
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광 스위칭 방식의 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법에 있어서,(A) 유리 기판의 상면에 복수개의 전극 라인을 형성하고, 그 상부에 리드아웃 광전도층(readout PCL)을 형성시키는 단계;(B) 전하 수집층의 하면에 절연 패턴이 형성되도록 상기 절연 패턴을 형성한 후 상기 전하 수집층을 형성하거나 상기 전하 수집층의 상면에 절연 패턴이 형성되도록 상기 전하 수집층을 형성한 후 그 상면에 절연 패턴을 형성시키는 단계; 및(C) 엑스선 광전도층(x-ray PCL)을 형성시키는 단계를 포함하며,상기 (B) 단계는,상기 전극 라인에 직교하는 방향으로 일정 간격 평행하게 이격되어 복수개의 스트립 라인을 형성하기 위한 홀이 형성된 쉐도우 마스크를 이용하여 절연 패턴을 증착하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 (B) 단계는,상기 전극 라인에 대응하는 일정 패턴을 형성시키기 위한 쉐도우 마스크를 상기 리드아웃 광전도층의 상부에 위치시키는 단계;증착 공정으로 절연 패턴을 형성시키고 상기 쉐도우 마스크를 제거하는 절연패턴 형성 단계; 및상기 전하 수집층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 (B) 단계는,상기 전하 수집층을 형성하는 단계;상기 전극 라인에 대응하는 일정 패턴을 형성시키기 위한 쉐도우 마스크를 상기 전하 수집층의 상부에 위치시키는 단계; 및증착 공정으로 절연 패턴을 형성시키고 상기 쉐도우 마스크를 제거하는 절연패턴 형성 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,상기 절연 패턴 형성 단계는,상기 전극 라인에 직교하는 방향으로 일정 간격 평행하게 이격되어 복수개의 스트립 라인을 형성하기 위한 홀이 형성된 직교 패턴 쉐도우 마스크를 이용하여 절연 패턴을 증착하고 상기 직교 패턴 쉐도우 마스크를 제거하는 단계; 및상기 전극 라인에 직교하는 방향으로 복수개의 스트립 라인의 절연 패턴이 형성된 그 상부에, 상기 전극 라인과 평행한 방향으로 일정 간격 이격되어 복수개의 스트립 라인을 형성하기 위한 홀이 형성된 평행 패턴 쉐도우 마스크를 이용하여 절연 패턴을 증착하고 상기 평행 패턴 쉐도우 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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제 7 항에 있어서,상기 (B) 단계는,상기 전극 라인에 직교하는 방향으로 일정 간격 이격되어 서로 평행한 스트립 라인을 형성하기 위한 제1 쉐도우 마스크를 상기 리드아웃 광전도층의 상부에 위치시키는 단계;증착 공정으로 제1 절연 패턴을 형성시키고 상기 제 1쉐도우 마스크를 제거하는 단계; 상기 전하 수집층을 형성하는 단계;상기 전극 라인과 사이에 상기 전극 라인과 평행한 스트립 라인을 형성하기 위한 제2 쉐도우 마스크를 상기 전하 수집층의 상부에 위치시키는 단계; 및증착 공정으로 제2 절연 패턴을 형성시키고 상기 제2 쉐도우 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스-선 영상 검출기의 제조 방법
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