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웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치

  • 기술번호 : KST2015070169
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  • 전화번호 :
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요약 실시예의 트랜스퍼 장치는, 웨이퍼의 측면을 그립할 수 있는 복수의 그립부; 상기 그립부의 상측에 마련되어, 상기 그립부 측으로 가압력을 제공할 수 있는 그립 회전부; 및 상기 그립부들을 관통하는 회전축;을 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01)
출원번호/일자 1020130001123 (2013.01.04)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1412287-0000 (2014.06.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140625) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정은도 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0010683-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0084172-86
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0876390-25
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0113780-87
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0113781-22
7 등록결정서
Decision to grant
2014.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0380230-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
카세트에 일정간격을 두고 수용된 복수의 웨이퍼 각각에 대응되도록 구성되어, 상기 대응되는 웨이퍼의 측면을 그립할 수 있는 복수의 그립부;상기 그립부의 상측에 마련되어, 상기 그립부 측으로 가압력을 제공할 수 있는 그립 회전부; 및상기 그립부들을 관통하는 회전축;을 포함하는 웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 그립부는, 상기 회전축이 관통되며 길이방향으로 길게 연장된 그립 몸체와, 상기 그립 몸체의 단부측에서 절곡 형성되는 그립 단부와, 상기 그립 단부에서 소정 깊이의 오목부로 이루어진 웨이퍼 접촉부를 포함하는 웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 그립 회전부는 상기 복수의 그립부 각각에 대응되고 승강이 가능하여, 상기 복수 그립부 중 일부를 선택하여 가압할 수 있는 복수의 승강부를 포함하고, 상기 그립부는 상기 승강부와 접촉되는 접촉면을 갖고, 상기 승강부의 중심과, 상기 접촉면의 중심은 편심되도록 상기 그립부가 배치되는 웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 그립 회전부는, 외부로부터 공기가 공급되는 에어 공급관과, 상기 에어 공급관과 연결되는 원통형의 실린더부와, 상기 실린더부 내에서 승강이 이루어지는 승강부를 포함하고, 상기 실린더부 내벽에는 상기 승강부의 상승 및 하강 거리를 단속하기 위한 걸림턱이 형성되는 웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 승강부의 외주면에는 상기 걸림턱과 접촉되도록 소정 두께 돌출형성된 걸림부가 형성되는 웨이퍼 세정을 위한 트랜스퍼 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.