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제1 방향에서 서로 마주보는 한 쌍의 제1 탄성체의 사이에 배치되는 미러;상기 한 쌍의 제1 탄성체를 통하여 상기 미러와 연결되는 짐벌(gimbal);제2 방향에서 서로 마주보는 한 쌍의 제2 탄성체를 통하여 짐벌과 연결되는 한 쌍의 앵커; 및상기 제1 탄성체와 미러에 대응하여 제1 홈이 형성된 자성체;를 포함하고,상기 자성체는상기 짐벌과 대응되는 영역을 사이에 두고 배치되는 제1 자성체와 제2 자성체로 구분되고,상기 제1 홈은상기 제1 자성체에 형성되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로 미러
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제1 항에 있어서,상기 제2 탄성체와 대응하여 상기 제2 자성체에 형성된 제2 홈을 더 포함하는 스캐닝 마이크로 미러
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제4 항에 있어서,상기 제1 홈의 깊이는 상기 제2 홈의 깊이와 동일한 스캐닝 마이크로 미러
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제1 항에 있어서,상기 제1 방향과 제2 방향은 서로 수직인 스캐닝 마이크로 미러
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제1 항에 있어서,상기 미러의 바닥면의 높이는 상기 제1 자성체의 윗면의 높이와 동일한 스캐닝 마이크로 미러
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제1 항에 있어서,상기 제1 탄성체의 바닥면의 높이는 상기 제1 자성체의 윗면의 높이와 동일한 스캐닝 마이크로 미러
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9
제1 항에 있어서,상기 짐벌의 바닥면의 높이는 상기 제2 자성체의 윗면의 높이와 동일한 스캐닝 마이크로 미러
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10
제1 항에 있어서,상기 제2 탄성체의 바닥면의 높이는 상기 제 2자성체의 윗면의 높이와 동일한 스캐닝 마이크로 미러
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제1 항에 있어서,상기 미러와 상기 제1 탄성체는 상기 제1 홈이 형성된 상기 자성체의 바닥면과 기설정된 간격 이격되어 배치되는 스캐닝 마이크로 미러
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12
제4 항에 있어서,상기 제2 탄성체는 상기 제2 홈이 형성된 상기 제2 자성체의 바닥면과 기설정된 간격 이격되어 배치되는 스캐닝 마이크로 미러
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