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서셉터 처리 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015070246
  • 담당센터 :
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예는 서셉터를 하우징 내부에 배치하는 단계; 상기 하우징 내부를 800℃ 내지 1200℃의 온도로 가열하는 단계; 상기 하우징 내부를 감압하는 단계; 상기 하우징 내부에 불활성 기체를 공급하는 단계; 및 상기 하우징 내에서 상기 서셉터를 베이킹하여 상기 서셉터로부터 불순물을 확산시키는 단계를 포함하는 서셉터의 처리 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/687(2013.01)
출원번호/일자 1020130004762 (2013.01.16)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1487407-0000 (2015.01.22)
공개번호/일자 10-2014-0092576 (2014.07.24) 문서열기
공고번호/일자 (20150129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재선 대한민국 대구 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0043118-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079576-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0033920-75
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0252408-99
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0252406-08
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0409497-15
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.08.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0771367-99
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.08.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0771366-43
10 등록결정서
Decision to grant
2014.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0763369-94
11 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1163210-14
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서셉터를 하우징 내부에 배치하는 단계;상기 하우징 내부를 800℃ 내지 1200℃의 온도로 가열하는 단계;상기 하우징 내부를 1차 감압하는 단계;상기 하우징 내부에 불활성 기체를 공급하는 단계;상기 하우징 내에서 상기 서셉터를 베이킹하여 상기 서셉터로부터 불순물을 확산시키는 단계;상기 하우징 내부를 2차 감압하는 단계; 및상기 불순물이 확산된 서셉터를, 불순물의 추가 오염이 없도록 질소 분위기 내에서 보관하는 단계를 포함하는 서셉터의 처리 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 감압하는 단계는 상기 하우징 내부를 10-3torr 미만으로 감압하는 서셉터의 처리 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 베이킹하는 단계는, 상기 하우징 내부를 100torr 내지 100mtorr의 압력에서 12시간 내지 24시간 지속되는 서셉터의 처리 방법
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5 5
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6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.