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외부와 밀폐되게 형성되며, 내부의 압력을 측정하는 압력스위치가 구비되는 챔버;메인 공급 밸브에 연결되는 리저버 탱크, 상기 리저버 탱크에 연결되는 다수개의 공급 조절 밸브 및 상기 공급 조절 밸브들에 연결되고 상기 챔버의 일측에 연결되는 가스 분배기를 포함하며, 상기 챔버 내부로 특정한 가스를 공급하는 가스 공급부;상기 챔버의 타측에 연결되는 배기 영역, 상기 배기 영역에 연결되는 다수개의 배기 조절 밸브, 상기 배기 조절 밸브에 연결되는 배기 매니폴드, 상기 배기 매니폴드에 연결되는 메인 배기 밸브 및 상기 메인 배기 밸브에 연결되는 가스 배기 수단을 포함하며, 상기 챔버 내부의 가스를 배기하는 가스 배기부; 및상기 압력스위치, 상기 다수개의 공급 조절 밸브 및 상기 다수개의 배기 조절 밸브에 연결되어 가스의 공급 및 배출을 제어하되, 상기 압력스위치에서 측정되는 압력에 따라 상기 공급 조절 밸브들 또는 상기 다수개의 배기 조절 밸브들을 순차적으로 개폐하여 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 제어부; 및유입관과 배출관을 통해 상기 챔버와 각각 연결되고, 내부에 촉매가 구비되어 상기 챔버 내부의 가스에 포함된 산소와 수분을 제거하도록 이루어지는 가스 정제 장치를 포함하며, 상기 배기 영역의 일 측에는 복수개의 배기 배관이 설치되고, 상기 배기 배관에는 상기 챔버 내부의 가스와 공기가 균일하게 배출되도록 상기 배기 조절 밸브가 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버는 특정압력 이상 및 이하일 때 개방되는 저압 릴리프 밸브가 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서, 상기 가스 공급부는 메인 공급 밸브 전단에 압력조절을 위한 메인 레귤레이터가 설치되며, 상기 다수개의 공급 조절 밸브 전단에 각각 서브 레귤레이터가 설치되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서,상기 리저버 탱크에는 특정압력 이상일 때 개방되는 고압 릴리프 밸브가 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서, 상기 가스 분배기는 상기 챔버의 일면 전체에 연결되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서, 상기 가스 분배기는 내부에 다층의 다공판 또는 헤파필터가 구비되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서, 상기 배기 매니폴드는 일측에 배기 가스 내의 산소 함량을 측정하는 산소 센서 또는 수분 함량을 측정하는 수분 센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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제1항에 있어서,상기 챔버 내부로 유동되는 가스의 흐름이 층류 유동이 되도록, 가스의 공급량, 배기량, 유속 및 공급 압력이 선정되는 것을 특징으로 하는 가스 치환 장치
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