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웨이퍼 양면 연마 장치

  • 기술번호 : KST2015070310
  • 담당센터 :
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요약 본발명의 실시예는 웨이퍼를 연마하는 양면 연마 장치로서, 상기 웨이퍼의 상면을 연마하는 상정반; 상기 웨이퍼의 하면을 연마하는 하정반; 및 상기 하정반 상부에 구비되고, 상기 웨이퍼가 장착되는 복수개의 캐리어;를 포함하고, 상기 하정반은 적어도 2개 이상의 서브 정반들로 이루어지고, 상기 서브 정반들은 서로 상이한 직경을 갖는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 37/08(2013.01) B24B 37/08(2013.01)
출원번호/일자 1020130002636 (2013.01.09)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1389188-0000 (2014.04.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140424) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조영민 대한민국 경북 경산시 진량읍 대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0024382-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0078868-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0830001-24
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0085216-56
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0085222-20
7 등록결정서
Decision to grant
2014.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0236621-89
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
웨이퍼를 연마하는 양면 연마 장치로서,상기 웨이퍼의 상면을 연마하는 상정반;상기 웨이퍼의 하면을 연마하는 하정반; 및상기 하정반 상부에 구비되고, 상기 웨이퍼가 장착되는 복수개의 캐리어;를 포함하고,상기 하정반은 회전중심이 동일한 링 형상의 서브 정반이 복수개로 이루어지며,상기 서브 정반들은 외경과 내경의 차이가 서로 상이하도록 형성되고, 상기 서브 정반들의 회전 방향은 상이하게 설정될 수 있으며, 상기 서브 정반간의 회전 속도 비율을 조절하여 상기 웨이퍼의 자전 속도를 제어하는 웨이퍼 연마 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 하정반은 원형의 중심부를 둘러싸는 제1 서브 정반과, 상기 제1 서브 정반을 둘러싸는 제2 서브 정반 및 상기 제2 서브 정반을 둘러싸는 제3 서브 정반으로 이루어지고, 상기 제1 내지 제3 서브 정반들은, 상기 웨이퍼의 서로 다른 영역과 접촉되어 상기 웨이퍼를 연마하는 웨이퍼 연마 장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 제1 서브 정반과 상기 제3 서브 정반은 서로 다른 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 제1 서브 정반과 상기 제3 서브 정반의 속도의 비율을 조절하여, 상기 웨이퍼의 자전속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치
5 5
제 2항에 있어서,상기 제2 서브 정반은 기설정된 방향 및 속도로 회전하며, 상기 웨이퍼를 공전시켜 연마도를 일정하게 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마 장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 서브 정반들을 모두 포함하는 하정반의 회전중심으로부터의 반경은 상기 웨이퍼 직경의 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.