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제1 방향에서 서로 마주보는 한 쌍의 제1 탄성체의 사이에 배치되는 미러와, 상기 한 쌍의 제1 탄성체를 통하여 상기 미러와 연결되는 짐벌(gimbal), 제2 방향에서 서로 마주보는 한 쌍의 제2 탄성체를 통하여 짐벌과 연결되는 프레임을 포함하는 스캐닝 마이크로 미러;상기 스캐닝 마이크로 미러의 상부와 하부에 각각 배치된 제1 기판과 제2 기판; 및상기 제1 탄성체 및 상기 미러의 배면과 마주보며 배치되는 자성체를 더 포함하고,상기 프레임 상에, 상기 한 쌍의 제2 탄성체와 각각 연결되는 제1 전극 어레이와 제2 전극 어레이가 배치되고,상기 제2 기판은 상기 제1 전극 어레이 및 상기 제2 전극 어레이에 대응하여 제1 전극 패드 및 제2 전극 패드를 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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제1 항에 있어서,상기 제1 전극 어레이와 제2 전극 어레이는 상기 미러를 사이에 두고 서로 마주보며 배치되는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 제1 전극 어레이와 제2 전극 어레이는 대칭으로 배치되는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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제1 항에 있어서,상기 제2 기판에 홀이 형성되고, 상기 자성체는 상기 홀에 삽입되어 배치되는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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삭제
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제1 항에 있어서,상기 제1 전극 패드 및 제2 전극 패드 중 적어도 하나는, 비아 홀 타입으로 배치된 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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제1 항에 있어서,상기 짐벌은 내부의 제1 짐벌과 외부의 제2 짐벌을 포함하는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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8
제1 항에 있어서,상기 자성체와 상기 미러는 기설정된 간격만큼 이격되어 배치되는 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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제1 항에 있어서,상기 제1 방향과 제2 방향은 서로 수직인 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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10
제1 항에 있어서,상기 미러는 상기 제1 방향과 상기 제2 방향으로 회전할 수 있고, 상기 제1 방향의 회전 진동수과 상기 제2 방향의 회전 진동수가 서로 다른 스캐닝 마이크로 미러 패키지
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