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웨이퍼 데이터가 저장된 통합정보관리 시스템(MES : Manufacturing Execution System)에 의해 웨이퍼의 품질이 관리되고, 로드 포트 위에 카세트가 올려지면, 카세트에 내장된 웨이퍼들을 bow(보우 또는 구부러짐) 값에 따라 반전시키는 웨이퍼 반전장치에 있어서,상기 웨이퍼 반전장치는,상기 카세트에 구비되고 상기 카세트에 내장된 웨이퍼 데이터를 읽어낼 수 있는 라벨(Label)과, 상기 로드 포트에 위치된 카세트의 라벨을 읽어들이는 리더기(Reader)를 포함하는 정보 전송수단;상기 정보 전송수단으로부터 읽어들인 라벨에 해당하는 카세트에 내장된 웨이퍼 데이터를 상기 통합정보관리 시스템(MES : Manufacturing Execution System)으로부터 전송받아 웨이퍼의 bow 값을 추출하는 메인 피씨(main PC); 및상기 메인 피씨로부터 전송된 웨이퍼의 bow 값에 따라 해당 웨이퍼를 뒤집는 반전 로봇;를 포함하고,에칭 장치와 그라인딩 장치 사이에 구비되는 웨이퍼 반전장치
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제1항에 있어서,상기 로드 포트는 적어도 두 개 이상 구비되고,상기 반전 로봇은,실리콘 웨이퍼를 진공 흡착시키는 진공 핸드와,상기 진공 핸드를 회전시키는 구동부와,상기 진공 핸드를 상기 로드 포트들 사이에 이동시키는 무빙 스테이지를 포함하는 웨이퍼 반전장치
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제1항에 있어서,상기 카세트는 상기 웨이퍼들을 소정 간격을 두고 복수개의 슬롯에 내장시키고,상기 반전 로봇은 상기 슬롯들 상에 웨이퍼의 유무를 측정하는 맵핑 센서(Mapping sensor)가 구비된 웨이퍼 반전장치
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제1항에 있어서,상기 반전 로봇은 상기 웨이퍼의 bow 값이 0을 초과하면 해당 웨이퍼를 뒤집는 웨이퍼 반전장치
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웨이퍼 데이터가 저장된 통합정보관리 시스템(MES : Manufacturing Execution System)에 의해 웨이퍼의 품질이 관리되고, 슬라이싱(Slicing), 래핑(Lapping), 에칭(Etching), 그라인딩(Grinding), 폴리싱(Polishing), 에피성장 공정을 순차적으로 진행하는 웨이퍼 제조방법에 있어서,상기 에칭 공정 후에 웨이퍼의 bow(보우 또는 구부러짐) 값을 상기 통합정보관리 시스템으로부터 전송받아 추출하는 단계; 및상기 웨이퍼의 bow 값이 0을 초과하면, 해당 웨이퍼를 반전시키는 단계;를 포함하고,상기 폴리싱 공정 후에 상기 웨이퍼는 (-)bow 값을 유지하는 형태로 에피층을 성장시키는 에피성장 공정을 수행하는 웨이퍼 제조방법
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