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서포터(supporter)에 의해 지지된 서셉터(susceptor) 위에 웨이퍼를 올리기 위하여 웨이퍼를 지지한 상태로 승강시키는 웨이퍼 리프트 장치에 있어서,상기 서포터의 축 둘레에 승강 가능하게 설치된 승강축;상기 서셉터에 승강 가능하게 걸림되고, 웨이퍼를 지지할 수 있는 복수개의 상부 승강핀; 및상기 상부 승강핀들의 하측에 위치하도록 상기 승강축에 구비되고, 상기 승강축의 움직임에 따라 상기 상부 승강핀들과 형합된 상태로 상기 상부 승강핀들을 승강시키는 복수개의 하부 승강핀;을 포함하고,상기 서포터는 상기 상부 승강핀들이 승강됨에 따라 관통될 수 있는 복수개의 가이드 홀이 구비되고,상기 웨이퍼가 상기 서셉터 위에 올려지면, 상기 상부 승강핀의 상단이 상기 서셉터에 걸림되는 동시에 상기 상부 승강핀의 하단이 상기 서포터의 가이드 홀에 끼움되고, 상기 하부 승강핀이 상기 상부 승강핀으로부터 분리되는 웨이퍼 리프트 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 승강핀과 하부 승강핀은 동축 상에 수직하게 배열되는 웨이퍼 리프트 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 승강핀의 하단에 결합 돌기가 구비되고,상기 하부 승강핀의 상단에 각각 상기 결합 돌기가 끼워질 수 있는 결함 홈이 구비된 웨이퍼 리프트 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 승강핀의 길이는 상기 하부 승강핀의 길이보다 짧게 형성된 웨이퍼 리프트 장치
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제1항에 있어서,상기 상부 승강핀은, 하부로 갈수록 직경이 좁아지는 머리부와, 상기 머리부 하단에 길게 연장되어 직경이 균일한 몸체부로 이루어지고,상기 서셉터는,상기 승강핀의 몸체부가 관통되는 동시에 상기 상부 승강핀의 머리부가 안착되는 복수개의 안착홀이 구비되는 웨이퍼 리프트 장치
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제7항에 있어서,상기 안착홀들은 상기 웨이퍼의 하면 외주단을 지지하도록 상기 서셉터의 외주단 측에 구비된 웨이퍼 리프트 장치
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제1항에 있어서,상기 하부 승강핀은 상기 승강축과 일체로 석영 재질로 만들어진 웨이퍼 리프트 장치
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