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와이어 세척 장치와 이를 이용한 와이어 소잉 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015070402
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예의 와이어 세척 장치는 유체를 제1 방향으로 토출하는 제1 노즐 및 슬러리에 의해 오염된 후 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동하는 와이어의 이동 경로 상에 배치되고 나선형 가이드부가 형성된 내면을 가지며, 이동 경로에서 제1 노즐로부터 토출되는 유체를 이용하여 와이어를 세척하는 관형 부재를 포함한다.
Int. CL H01L 21/301 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130009923 (2013.01.29)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1379801-0000 (2014.03.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.29)
심사청구항수 25

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전지원 대한민국 경북 구미시
2 공순현 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0086189-44
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0079587-02
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0843401-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0085917-43
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0085912-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0119654-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유체를 제1 방향으로 토출하는 제1 노즐; 및상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동하는 와이어의 이동 경로 상에 배치되고 나선형 가이드부가 형성된 내면을 가지며, 상기 이동 경로에서 상기 제1 노즐로부터 토출되는 상기 유체를 이용하여 상기 와이어를 세척하는 관형 부재를 포함하는 와이어 세척 장치
2 2
제1 항에 있어서, 상기 관형 부재는상기 와이어가 도입되며 상기 와이어의 세척에 사용된 유체의 출구를 제공하는 제1 개구가 형성된 제1 단부; 및상기 토출된 유체가 유입되고 상기 관형 부재를 통과한 와이어의 출구를 제공하는 제2 개구가 형성된 제2 단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 세척 장치
3 3
제2 항에 있어서, 상기 유체가 토출되는 상기 제1 노즐의 토출구와 상기 제2 단부는 서로 대면하는 것을 특징으로 하는 와이어 세척 장치
4 4
제2 항에 있어서, 상기 제1 개구와 상기 제2 개구는 서로 다른 직경을 갖는 와이어 세척 장치
5 5
제4 항에 있어서, 상기 제1 개구의 직경은 상기 제2 개구의 직경 보다 작은 와이어 세척 장치
6 6
제1 항에 있어서, 상기 관형 부재는 깔대기 형상인 와이어 세척 장치
7 7
제2 항에 있어서, 상기 관형 부재는 상기 제1 및 제2 단부보다 더 작은 직경의 중간부를 가지는 벤추리관(venturi tube) 형상인 와이어 세척 장치
8 8
제7 항에 있어서, 상기 중간부로부터 상기 제1 단부까지의 거리는 상기 중간부로부터 상기 제2 단부까지의 거리보다 작은 와이어 세척 장치
9 9
제1 항에 있어서, 상기 나선형 가이드부는 나선형 홈을 포함하는 와이어 세척 장치
10 10
제1 항에 있어서, 상기 나선형 가이드부는 나선형 돌기를 포함하는 와이어 세척 장치
11 11
제2 항에 있어서, 상기 나선형 가이드부의 피치 사이의 간격은 상기 제2 단부로부터 상기 제1 단부로 갈수록 감소하는 와이어 세척 장치
12 12
제1 항에 있어서, 상기 유체를 수용하는 유체 용기; 및상기 유체 용기로부터 공급된 상기 유체의 온도를 조절하여 상기 제1 노즐로 제공하는 제1 온도 조절부를 더 포함하는 와이어 세척 장치
13 13
제12 항에 있어서, 상기 제1 온도 조절부는 상기 유체의 온도를 10 ℃ 내지 20 ℃의 범위 내에서 조절하는 와이어 세척 장치
14 14
제1 항에 있어서, 상기 관형 부재의 주위에 배치되어, 상기 관형 부재를 가열하는 히터를 더 포함하는 와이어 세척 장치
15 15
제14 항에 있어서, 상기 히터의 온도를 제어하는 제2 온도 조절부를 더 포함하는 와이어 세척 장치
16 16
제15 항에 있어서, 상기 제2 온도 조절부는 상기 유체의 온도가 10 ℃ 내지 20 ℃가 되도록 상기 히터의 가열을 제어하는 와이어 세척 장치
17 17
제1 항에 있어서, 상기 관형 부재를 통과하는 상기 유체의 흐름을 가속하는 방향으로 상기 관형 부재를 회전시키는 회전 구동부를 더 포함하는 와이어 세척 장치
18 18
제1 항에 있어서, 슬러리가 묻어 오염된 상기 와이어의 세척에 사용된 상기 유체에 의해 반송된 상기 슬러리를 수용하는 슬러리 용기;상기 슬러리 용기에 수용된 상기 슬러리를 필터링하는 필터; 및상기 필터링된 슬러리를 상기 세척된 와이어의 다른 이동 경로에 분사하는 제2 노즐을 더 포함하는 와이어 세척 장치
19 19
제1 항 내지 제18 항 중 어느 한 항에 기재된 상기 와이어 세척 장치를 포함하고, 상기 와이어를 슬러리와 접촉시켜 잉곳을 절단하는 와이어 소잉 장치
20 20
제19 항에 있어서,상기 잉곳을 홀딩하는 잉곳 홀더;상기 와이어 세척 장치에서 세척된 와이어를 감는 제1 와이어 보빈상기 잉곳을 절단하기 위해 사용될 와이어를 감는 제2 와이어 보빈;상기 제1 와이어 보빈에 상기 세척된 와이어가 일정한 속도로 감기도록 제어하는 제1 터치 롤러; 및상기 제2 와이어 보빈으로부터 상기 와이어가 일정한 속도로 풀리도록 제어하는 제2 터치 롤러를 더 포함하는 와이어 소잉 장치
21 21
제20 항에 있어서, 상기 제2 와이어 보빈에 감긴 와이어는 상기 세척된 와이어인 와이어 소잉 장치
22 22
제19 항에 있어서, 상기 와이어는 단방향으로 이동하는 와이어 소잉 장치
23 23
제19 항에 있어서, 상기 와이어는 양방향으로 이동하는 와이어 소잉 장치
24 24
슬러리를 와이어에 분사하여 잉곳을 소잉하는 단계;유체를 제1 방향으로 토출시키는 단계; 및상기 슬러리와 접촉한 후 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 이동하는 와이어의 이동 경로 상에 배치되며, 나선형 가이드부가 형성된 내면을 갖는 관형 부재 속으로 상기 유체를 상기 제1 방향으로 관통시켜 상기 와이어를 세척하는 단계를 포함하는 와이어 소잉 방법
25 25
제24 항에 있어서, 상기 와이어의 세척에 사용된 상기 유체에 의해 반송된 상기 슬러리를 수용하는 단계;상기 수용된 슬러리를 필터링하는 단계; 및상기 필터링된 슬러리를 상기 세척된 와이어의 다른 이동 경로에 분사하여 상기 잉곳을 소잉하기 위해 재사용하는 단계를 더 포함하는 와이어 소잉 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2014119816 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2014119816 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.