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웨이퍼 에지 연마 장치

기술번호 : KST2015070408
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 실시예의 웨이퍼 에지 연마 장치는, 웨이퍼를 지지하면서 회전되는 지지 플레이트; 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연삭을 수행하기 위한 그라인딩 휠; 및 상기 지지 플레이트의 상측에 마련되고, 상하로 이동가능하면서 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연마를 수행하기 위한 에지 연마부를 갖는 제 1 연마 가이드부;를 포함한다.
Int. CL	H01L 21/304 (2006.01) B24B 9/06 (2006.01)
CPC	B24B 9/065(2013.01)
출원번호/일자	1020130006772 (2013.01.22)
출원인	주식회사 엘지실트론
등록번호/일자	10-1444578-0000 (2014.09.18)
공개번호/일자	10-2014-0094240 (2014.07.30) 문서열기
공고번호/일자	(20140924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2013.01.22)
심사청구항수	10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	에스케이실트론 주식회사	대한민국	경상북도 구미시

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	최은석	대한민국	경북 구미시
2	배재현	대한민국	경북 구미시

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	서교준	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로 길, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	에스케이실트론 주식회사		경상북도 구미시

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2013.01.22	수리 (Accepted)	1-1-2013-0060111-07
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.12.26	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2014.02.11	수리 (Accepted)	9-1-2014-0011647-17
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2014.02.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0133281-10
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2014.04.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0330694-37
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2014.04.07	수리 (Accepted)	1-1-2014-0330695-83
7	등록결정서 Decision to grant	2014.08.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0596056-35
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2015-5070977-42
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.05.29	수리 (Accepted)	4-1-2015-5071326-18
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2017-5140469-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.02.21	수리 (Accepted)	4-1-2018-5031039-07

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 웨이퍼를 지지하면서 회전되는 지지 플레이트; 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연삭을 수행하기 위한 그라인딩 휠;상기 지지 플레이트의 상측에 마련되고, 상하로 이동가능하면서 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연마를 수행하기 위한 에지 연마부를 갖는 제 1 연마 가이드부; 및상기 지지 플레이트의 하측에 마련되고, 상하로 이동가능하면서 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연마를 수행하기 위한 에지 연마부를 갖는 제 2 연마 가이드부를 포함하는 웨이퍼 에지 연마 장치
2	2 삭제
3	3 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 연마 가이드부와 제 2 연마 가이드부 각각은 적어도 하나 이상의 에지 연마부를 포함하는 웨이퍼 에지 연마 장치
4	4 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 연마 가이드부의 동작에 의한 웨이퍼 에지의 연마와, 제 2 연마 가이드부의 동작에 의한 웨이퍼 에지의 연마는, 선택적으로 이루어지는 것이 가능한 웨이퍼 에지 연마 장치
5	5 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼의 에지에 대한 연마는,상기 제 1 연마 가이드부의 동작에 의한 연마가 수행된 다음, 제 2 연마 가이드부의 동작에 의한 연마가 수행되거나, 상기 제 2 연마 가이드부의 동작에 의한 연마가 수행된 다음, 제 1 연마 가이드부의 동작에 의한 연마가 수행되는 웨이퍼 에지 연마 장치
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 연마 가이드부 내에는 웨이퍼 에지에 접촉되는 제 1 에지 연마부와 제 2 에지 연마부가 포함되고, 상기 제 2 연마 가이드부 내에는 웨이퍼 에지에 접촉되는 제 3 에지 연마부와 제 4 에지 연마부가 포함되는 웨이퍼 에지 연마 장치
7	7 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 3 에지 연마부는 서로 상하반전된 형상으로 이루어지고, 상기 웨이퍼와의 접촉면의 경사각이 각각 20~40°의 범위로 형성되는 웨이퍼 에지 연마 장치
8	8 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 및 제 4 에지 연마부는 서로 상하반전된 형상으로 이루어지고, 상기 웨이퍼와의 접촉면의 경사각이 각각 80~90°의 범위로 형성되는 웨이퍼 에지 연마 장치
9	9 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼와 제 1 연마 가이드부 사이에는, 상기 제 1 연마 가이드부의 하측 개방된 영역을 선택적으로 개방하기 위한 셔터부가 더 마련되는 웨이퍼 에지 연마 장치
10	10 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼와 제 2 연마 가이드부 사이에는, 상기 제 2 연마 가이드부의 상측 개방된 영역을 선택적으로 개방하기 위한 셔터부가 더 마련되는 웨이퍼 에지 연마 장치
11	11 제 1 항에 있어서, 상기 그라인딩 휠을 회전시키기 위한 휠 구동부를 더 포함하고, 상기 휠 구동부는, 상기 웨이퍼 지지수단과의 거리가 가변되도록 이동이 가능한 웨이퍼 에지 연마 장치

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1444578-0000

권리란

표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20130122 출원 번호 : 1020130006772 공고 연월일 : 20140924 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140829 청구범위의 항수 : 10 유별 : B24B 9/06 발명의 명칭 : 웨이퍼 에지 연마 장치 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시 ...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	435,000 원	2014년 09월 18일	납입
제 4 년분	금 액	260,000 원	2017년 06월 26일	납입
제 5 년분	금 액	260,000 원	2018년 06월 27일	납입
제 6 년분	금 액	260,000 원	2019년 06월 24일	납입
제 7 년분	금 액	480,000 원	2020년 06월 25일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2013.01.22	수리 (Accepted)	1-1-2013-0060111-07
2	선행기술조사의뢰서	2013.12.26	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2014.02.11	수리 (Accepted)	9-1-2014-0011647-17
4	의견제출통지서	2014.02.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0133281-10
5	[명세서등 보정]보정서	2014.04.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2014-0330694-37
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2014.04.07	수리 (Accepted)	1-1-2014-0330695-83
7	등록결정서	2014.08.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2014-0596056-35
8	출원인정보변경(경정)신고서	2015.05.28	수리 (Accepted)	4-1-2015-5070977-42
9	출원인정보변경(경정)신고서	2015.05.29	수리 (Accepted)	4-1-2015-5071326-18
10	출원인정보변경(경정)신고서	2017.08.31	수리 (Accepted)	4-1-2017-5140469-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2018.02.21	수리 (Accepted)	4-1-2018-5031039-07


기술번호	KST2015070408
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	웨이퍼 에지 연마 장치
기술개요	본 실시예의 웨이퍼 에지 연마 장치는, 웨이퍼를 지지하면서 회전되는 지지 플레이트; 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연삭을 수행하기 위한 그라인딩 휠; 및 상기 지지 플레이트의 상측에 마련되고, 상하로 이동가능하면서 상기 웨이퍼의 에지 영역에 대한 연마를 수행하기 위한 에지 연마부를 갖는 제 1 연마 가이드부;를 포함한다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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