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제 1 그라인더(First Grinder);제 1 기판이 이송되는 동안 측면이 상기 제 1 그라인더에 의해 그라인딩(Grinding)되도록 상기 제 1 기판을 제 1 방향(First Direction)으로 이송시키는 제 1 이송부(First Transportation Part); 및제 2 기판이 이송되는 동안 측면이 상기 제 1 그라인더에 의해 그라인딩되도록 상기 제 2 기판을 상기 제 1 방향으로 이송시키는 제 2 이송부(Second Transportation Part);를 포함하고,상기 제 1 기판이 상기 제 1 그라인더에 의해 그라인딩되는 동안 상기 제 2 이송부는 상기 제 1 기판의 하측에서 상기 제 1 방향과 반대방향인 제 2 방향(Second Direction)으로 이동하고,상기 제 2 기판이 상기 제 1 그라인더에 의해 그라인딩되는 동안 상기 제 1 이송부는 상기 제 2 기판의 하측에서 상기 제 2 방향으로 이동하며,상기 제 1 이송부는 상기 제 1 기판의 그라인딩이 종료된 이후 상기 제 1 기판의 하측으로 이동하여 상기 제 2 기판의 하측에서 상기 제 2 방향으로 이동하는 부분을 포함하고,상기 제 2 이송부는 상기 제 2 기판의 그라인딩이 종료된 이후 상기 제 2 기판의 하측으로 이동하고, 상기 제 1, 2 방향과 교차하는 수평방향(Horizontal Direction)으로 이동하여, 상기 제 1 기판의 하측에서 상기 제 2 방향으로 이동하는 부분을 포함하는 기판 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 이송부는상기 제 1 기판에 흡착되는 제 1 흡착부(First Adsorption Part);상기 제 1 흡착부를 지지하는 제 1 지지부(First Supporter);상기 제 1 지지부를 상기 제 1, 2 방향 및 상기 수평방향과 교차하는 수직방향(Vertical Direction)으로 이동시키는 제 1 수직 액추에이터(First Vertical Actuator); 및상기 제 1 지지부를 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향으로 이동시키는 제 1 모터부(First Motor Part);를 포함하고,상기 제 2 이송부는상기 제 2 기판에 흡착되는 제 2 흡착부(Second Adsorption Part);상기 제 2 흡착부를 지지하는 제 2 지지부(Second Supporter);상기 제 2 지지부를 상기 수직방향으로 이동시키는 제 2 수직 액추에이터(Second Vertical Actuator);상기 제 2 지지부를 상기 수평방향으로 이동시키는 제 1 수평 액추에이터(First Horizontal Actuator); 및상기 제 2 지지부를 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향으로 이동시키는 제 2 모터부(Second Motor Part);를 포함하는 기판 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판이 그라인딩되는 동안 상기 제 1 그라인더는 고정되는 기판 가공장치
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4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 그라인더에 의한 상기 제 1 기판의 그라인딩이 종료된 이후 상기 제 1 기판은 제 1 이송부로부터 이탈되고,상기 제 1 그라인더에 의한 상기 제 2 기판의 그라인딩이 종료된 이후 상기 제 2 기판은 제 2 이송부로부터 이탈되는 기판 가공장치
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 그라인더에 의한 상기 제 1, 2 기판의 그라인딩이 종료된 이후 상기 제 1, 2 기판을 회전시키는 회전부(Rotation Part)를 더 포함하는 기판 가공장치
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6
제 5 항에 있어서,제 2 그라인더(Second Grinder);상기 제 1 기판이 회전된 상태에서 이송되는 동안 측면이 상기 제 2 그라인더에 의해 그라인딩되도록 상기 제 1 기판을 상기 제 1 방향으로 이송시키는 제 3 이송부(Third Transportation Part); 및상기 제 2 기판이 회전된 상태에서 이송되는 동안 측면이 상기 제 2 그라인더에 의해 그라인딩되도록 상기 제 2 기판을 상기 제 1 방향으로 이송시키는 제 4 이송부(Fourth Transportation Part);를 포함하는 기판 가공장치
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7
제 6 항에 있어서,상기 제 1 기판 및 상기 제 2 기판이 그라인딩되는 동안 상기 제 2 그라인더는 고정되는 기판 가공장치
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8
제 6 항에 있어서,상기 제 1 그라인더 및 상기 제 2 그라인더 중 어느 하나는 상기 제 1, 2 기판의 장변(Long Side)을 그라인딩하고, 나머지 하나는 상기 제 1, 2 기판의 단변(Short Side)을 그라인딩하는 기판 가공장치
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9
제 6 항에 있어서,상기 제 1 기판이 상기 제 2 그라인더에 의해 그라인딩되는 동안 상기 제 3 이송부는 상기 제 1 기판의 하측에서 상기 제 2 방향으로 이동하고,상기 제 2 기판이 상기 제 2 그라인더에 의해 그라인딩되는 동안 상기 제 4 이송부는 상기 제 2 기판의 하측에서 상기 제 2 방향으로 이동하는 기판 가공장치
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10
제 6 항에 있어서,상기 제 3 이송부는상기 제 1 기판에 흡착되는 제 3 흡착부(Third Adsorption Part);상기 제 3 흡착부를 지지하는 제 3 지지부(Third Supporter);상기 제 3 지지부를 상기 수직방향으로 이동시키는 제 3 수직 액추에이터(Third Vertical Actuator); 및상기 제 3 지지부를 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향으로 이동시키는 제 3 모터부(Third Motor Part);를 포함하고,상기 제 4 이송부는상기 제 2 기판에 흡착되는 제 4 흡착부(Fourth Adsorption Part);상기 제 4 흡착부를 지지하는 제 4 지지부(Fourth Supporter);상기 제 4 지지부를 상기 수직방향으로 이동시키는 제 4 수직 액추에이터(Fourth Vertical Actuator); 및상기 제 4 지지부를 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향으로 이동시키는 제 4 모터부(Fourth Motor Part);를 포함하는 기판 가공장치
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제 10 항에 있어서,상기 제 3 이송부 및 상기 제 4 이송부 중 어느 하나는 상기 제 3 지지부 또는 상기 제 4 지지부를 상기 수평방향으로 이동시키는 제 2 수평 액추에이터(Second Horizontal Actuator)를 더 포함하는 기판 가공장치
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 방향은 상기 제 1, 2 기판의 가공 공정의 진행방향인 기판 가공장치
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