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웨이퍼 에지 그라인딩 장치 및 웨이퍼 에지 그라인딩 방법

  • 기술번호 : KST2015070480
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 웨이퍼 에지의 그라인딩 시 정밀한 형상 제어가 가능한 웨이퍼 에지 그라인딩 장치 및 웨이퍼 에지 그라인딩 방법이 개시된다.실시예에 따른 웨이퍼 에지 그라인딩 장치는 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척; 상기 웨이퍼 척의 측부에 배치되며, 웨이퍼의 에지와 접하는 그라인딩 패드 및 상기 그라인딩 패드를 이동 및 고정시키는 이동부를 포함하는 그라인딩 유닛;을 포함한다.실시예에 따른 웨이퍼 에지 그라인딩 방법은 웨이퍼 척에 웨이퍼를 마운팅하는 단계; 웨이퍼의 에지를 따라 웨이퍼와 접하도록 복수 개의 그라인딩 패드를 배치하는 단계; 및 웨이퍼 척을 회전시켜 웨이퍼의 에지를 그라인딩하는 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC B24B 9/065(2013.01) B24B 9/065(2013.01)
출원번호/일자 1020130010363 (2013.01.30)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1414204-0000 (2014.06.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140701) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍래 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0089559-59
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0078754-52
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0821123-85
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0064788-13
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0064791-40
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0354332-23
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 척; 및상기 웨이퍼 척의 측부에 배치되며, 웨이퍼의 에지와 접하는 그라인딩 패드 및 상기 그라인딩 패드를 이동 및 고정시키는 이동부를 포함하는 그라인딩 유닛을 포함하고,상기 이동부는복수 개의 지지 아암(supporting arm)을 갖고, 상기 지지 아암의 일단에 상기 그라인딩 패드가 고정되고,상기 그라인딩 패드의 위치는 상기 복수의 지지 아암의 위치를 조정하여 조절되는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 그라인딩 패드는 웨이퍼의 에지를 따라 복수 개 배치되는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 이동부는 복수 개 구비되고, 복수 개의 그라인딩 패드 각각에 대응하여 이동부가 각각 배치되는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 복수 개의 상기 그라인딩 패드 중에서 인접한 두 개 이상의 그라인딩 패드는 일부분이 서로 접하는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 그라인딩 유닛은 상기 이동부의 이동 거리 및 상기 그라인딩 패드의 적용 위치를 제어하는 제어부를 더 포함하는 웨이퍼 에지 그라인딩 장치
6 6
웨이퍼 척에 웨이퍼를 마운팅하는 단계;상기 웨이퍼의 에지를 따라 상기 웨이퍼와 접하도록 복수 개의 그라인딩 패드를 배치하는 단계; 및상기 웨이퍼 척을 회전시켜 상기 웨이퍼의 에지를 그라인딩하는 단계;를 포함하고,상기 복수 개의 그라인딩 패드 각각을 이동 및 고정시키는 복수 개의 지지 아암의 위치를 조정하여 상기 그라인딩 패드의 위치가 조절되는 웨이퍼 에지 그라인딩 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.