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적어도 하나 이상의 웨이퍼를 마운팅하는 세라믹 블록을 갖는 마운팅 수단;상기 세라믹 블록 상으로 웨이퍼를 전달하는 플립 수단; 및상기 세라믹 블록 상에 마운트된 웨이퍼의 구경에 따라서 선택적으로 가압력을 상기 웨이퍼에 제공할 수 있는 웨이퍼 가압수단;을 포함하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 웨이퍼 가압수단은, 적어도 하나 이상의 홀을 갖는 베이스부와, 상기 홀을 관통하는 축에 연결되어 승강이 가능한 접촉부를 포함하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 2항에 있어서,상기 웨이퍼 가압수단은, 상기 접촉부를 승강 및 하강시키기 위한 실린더가 상기 베이스부 상측에 마련되고, 상기 접촉부는 상기 실린더의 실린더축과 연결되는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 2항에 있어서,상기 접촉부는, 공기가 주입되는 실리콘 고무인 웨이퍼 마운팅 장치
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제 2항에 있어서, 상기 접촉부는, 상기 베이스부의 제1 홀을 관통하는 축에 연결된 제1 접촉부와, 상기 베이스부의 제2 홀을 관통하는 축에 연결된 제2 접촉부를 포함하고, 상기 제1 접촉부와 제2 접촉부 각각은 웨이퍼와의 접촉 면적이 상이한 웨이퍼 마운팅 장치
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제 5항에 있어서,상기 제1 접촉부는 상승되어 있는 경우 0
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제 5항에 있어서,상기 제2 접촉부는 상승되어 있는 경우 0
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제 1항에 있어서, 상기 세라믹 블록 상에 마운트되는 웨이퍼의 정렬 여부를 확인하기 위한 제1 감지 센서를 더 포함하고, 상기 제1 감지 센서에 의한 검출결과에 따라, 상기 웨이퍼 가압수단의 동작여부가 결정되는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 8항에 있어서,상기 제1 감지 센서는 웨이퍼의 상부에 위치하며, 웨이퍼 3지점의 에지부를 센싱하는 하는 발광 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 9항에 있어서,상기 제1 감지 센서와 연결되는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 제1 감지 센서의 수광부에 웨이퍼의 에지부가 감지되지 않는 경우 경보음을 발생하고, 웨이퍼 마운팅 공정을 중지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 5항에 있어서,상기 제1 접촉부 및 제2 접촉부와 연결되는 제2 감지 센서를 더 포함하고, 상기 제2 감지 센서는 상기 제1 접촉부 및 제2 접촉부가 상승되어 있을 때와 웨이퍼를 가압할 때의 압력을 감지하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 11항에 있어서,상기 제2 감지 센서와 연결되는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 제1 접촉부 및 제2 접촉부가 상승되어 있을 때 0
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제 12항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 접촉부 및 제2 접촉부가 웨이퍼를 가압할 때 0
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제 1항에 있어서,상기 플립 수단은, 상기 웨이퍼를 지지하는 플립 척과, 상기 플립 척을 회전시키기 위한 플립척 회전부와, 승기 플립척을 승강시키기 위한 플립 승강부를 포함하는 웨이퍼 마운팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 마운팅 수단은, 상기 세라믹 블록을 회전시키기 위한 회전력을 발생시키는 구동부와, 상기 구동부와 연결된 제1 회전축과, 상기 제1 회전축의 회전과 함께 회전되는 제1 기어와, 상기 제1 기어를 감싸는 타이밍 벨트와, 상기 타이밍 벨트에 연결되는 제2 기어와, 상기 제2 기어와 세라믹 블록에 연결되는 제2 회전축을 포함하는 웨이퍼 마운팅 장치
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