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웨이퍼를 연마하기 위한 웨이퍼 양면 연마 장치로서, 상기 웨이퍼 상부에 위치하는 상정반;상기 상정반에 대향하는 하부에 위치하는 하정반;상기 상정반과 하정반 사이에 구비되며, 상기 웨이퍼가 부착되는 캐리어; 및상기 하정반의 외주측에 구비되는 인터널 기어(Internal gear)와 상기 하정반의 내주측에 구비되는 선 기어(Sun gear); 를 포함하고, 상기 하정반 상부면에는 제1 방향으로 배열된 제1 정반홈부와, 상기 제1 방향과는 상이한 제2 방향으로 배열된 제2 정반홈부가 형성되고,상기 제1 정반홈부와 제2 정반홈부는 기설정된 각도로 경사지도록 형성되며, 상기 제1 및 제2 정반홈부가 교차하는 지점에서 슬러리는 상대적으로 경사도가 급한 방향으로 이동되어, 상기 인터널 기어 또는 선 기어측으로 개구된 제1 및 제2 정반홈부로 배출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 정반홈부와 제2 정반홈부는 상기 하정반의 상부면에서 가로 방향 및 세로 방향으로 배열되는 선형의 홈인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 정반홈부는 상기 하정반의 상부면에서 가로방향으로 복수개 배열되고,상기 제1 정반홈부는 상기 하정반의 선기어 측에서 인터널기어 측으로 갈수록 홈 깊이가 깊어지도록 형성되는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서,상기 제2 정반홈부는 상기 하정반의 상부면에서 세로방향으로 복수개 배열되고,상기 제2 정반홈부는 상기 하정반의 선기어 측에서 인터널기어 측으로 갈수록 홈깊이가 깊어지도록 형성되는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 연마에 사용되는 슬러리는 제1 및 제2 정반홈부의 경사에 의해 선 기어측의 제1 및 제2 정반홈부로 배출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 정반홈부 및 제2 정반홈부의 중앙에는 소정의 크기로 형성된 배출홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 6항에 있어서,웨이퍼 연마에 사용되는 슬러리는 선 기어 방향으로 흐르다가 상기 배출홀을 통해 일부 배출되며, 배출되지 못한 슬러리가 선기어 방향의 제1 및 제2 정반홈부를 통해 배출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 1항에 있어서,상기 선 기어와 맞닿지 않게 형성되는 제1 및 제2 정반홈부는 임의의 일측으로 기울어진 경사부를 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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제 8항에 있어서,웨이퍼 연마에 사용되는 슬러리는 상기 경사부에 의해 인터널 기어측의 제1 및 제2 정반홈부로 배출되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 양면 연마 장치
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