맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

인입 장치 및 이를 포함하는 반응 시스템

  • 기술번호 : KST2015070594
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시 예에 따른 인입 장치는 내부에 유체가 통과할 수 있는 이송관을 포함하는 몸체, 상기 몸체의 측면의 일 영역과 연결되고, 상기 이송관 내로 세정액을 분사하는 제1 노즐, 및 상기 이송관의 내벽으로부터 이격하도록 상기 이송관 내에 배치되는 차단 시트를 포함하며, 상기 제1 노즐로부터 분사되는 세정액은 상기 차단 시트의 내측에 위치하는 이송관의 일 영역으로 유입이 차단한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130015739 (2013.02.14)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1496676-0000 (2015.02.23)
공개번호/일자 10-2014-0102446 (2014.08.22) 문서열기
공고번호/일자 (20150227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.14)
심사청구항수 20

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 조만기 대한민국 대구 수성구
2 유득천 대한민국 경상북도 칠곡군
3 손수빈 대한민국 경상북도 구미시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0132527-08
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.12.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0100769-09
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0109792-21
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0353251-19
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0353252-54
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0586526-14
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0954744-91
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0954743-45
10 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1163210-14
11 등록결정서
Decision to grant		 2015.02.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0085238-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 유체가 통과할 수 있는 이송관을 포함하는 몸체;상기 몸체의 측면의 일 영역과 연결되고, 상기 이송관 내로 세정액을 분사하는 제1 노즐; 및상기 이송관의 내벽으로부터 이격하도록 상기 이송관 내에 배치되는 차단 시트를 포함하며,상기 차단 시트는,상기 제1 노즐로부터 분사되는 세정액이 상기 차단 시트의 내측에 위치하는 이송관의 일 영역으로 유입되는 것을 차단하는 인입 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 차단 시트의 상단은 상기 노즐의 상부에 위치하고, 상기 차단 시트의 하단은 상기 노즐의 하부에 위치하는 인입 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 몸체는 상기 제1 노즐 상부의 상기 이송관 내에 위치하고, 상기 차단 시트의 상단을 지지하는 고정부를 갖는 인입 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 고정부는,상기 제1 노즐 상부에 위치하는 몸체의 일부 영역일 수 있으며,상기 고정부의 내부 직경은 상기 몸체의 나머지 부분의 내부 직경보다 작은 인입 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 노즐의 수는 복수 개이고, 복수의 제1 노즐들은 서로 이격하여 배치되는 인입 장치
6 6
제1항에 있어서,상기 제1 노즐과 상기 제1 노즐 위쪽에 위치하는 상기 몸체의 외벽이 이루는 각도는 50° ~ 70°인 인입 장치
7 7
제1항에 있어서,상기 차단 시트는 상기 몸체보다 마찰 계수가 작은 수지 재질인 인입 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 차단 시트는 테프론(Teflon)인 인입 장치
9 9
제3항에 있어서,상기 차단 시트는 상단, 하단, 및 상기 상단과 상기 하단 사이에 위치하는 측면을 포함하고, 상기 상단과 상기 하단이 개방된 원통 형상인 인입 장치
10 10
제9항에 있어서,상기 차단 시트의 상단은 상기 고정부에 걸리도록 상기 측면보다 직경이 큰 링(ring) 구조인 인입 장치
11 11
제10항에 있어서,상기 차단 시트의 상단은 상기 측면으로부터 돌출되는 인입 장치
12 12
제1항에 있어서,상기 차단 시트 아래에 위치하는 상기 몸체의 측면의 다른 영역과 연결되고, 상기 이송관 내부로 비활성 가스를 분사하는 제2 노즐을 더 포함하는 인입 장치
13 13
제12항에 있어서,상기 제2 노즐의 수는 복수 개이고, 복수의 제2 노즐들은 이격하여 위치하는 인입 장치
14 14
제12항에 있어서,상기 제2 노즐과 상기 제2 노즐 위쪽에 위치하는 상기 몸체의 외벽이 이루는 각도는 50° ~ 70°인 인입 장치
15 15
제13항에 있어서,상기 복수의 제2 노즐들은 상기 이송관의 내벽을 따라 상기 비활성 가스를 분사하는 인입 장치
16 16
제12항에 있어서,상기 제2 노즐이 상기 비활성 가스를 분사하는 방향과 상기 이송관의 내벽의 법선과 이루는 각은 0보다 크거나 같고, 10°보다 작거나 같은 인입 장치
17 17
제1항에 있어서,기설정된 분사 압력으로 상기 차단 시트의 하단에 증착되는 반응물, 또는 상기 차단 시트 아래의 상기 이송관 내벽에 증착되는 반응물에 기체 또는 액체를 분사하는 스프레이(spray) 노즐을 더 포함하며, 상기 반응물은 상기 이송관으로 유입되는 유체와 상기 세정액과의 반응에 따른 결과물인 인입 장치
18 18
제17항에 있어서,상기 제1 노즐 및 상기 스프레이 노즐은 탈이온수를 분사하고, 상기 스프레이 노즐의 수는 복수 개인 인입 장치
19 19
제18항에 있어서,상기 제1 노즐로부터 분사되는 탈이온수의 분사 압력과 상기 스프레이 노즐로부터 분사되는 탈이온수의 분사 압력의 비는 1:~ 1
20 20
소스 가스(source gas)를 제공하는 가스 유입관;상기 가스 유입관를 통하여 제공되는 상기 소스 가스를 이용하여 반응물을 형성하는 반응기;상기 반응물 생성 후 발생하는 가스를 상기 반응기로부터 배출하는 가스 배출관;상기 가스 배출관으로 배출되는 가스를 세정액을 이용하여 세정하는 스크러버(scrubber); 및상기 가스 배기관과 상기 스크러버를 연결하는 인입 장치를 포함하며,상기 인입 장치는,내부에 유체가 통과할 수 있는 이송관을 포함하는 몸체;상기 몸체의 측면의 일 영역과 연결되고, 상기 이송관 내로 세정액을 분사하는 제1 노즐; 및상기 이송관의 내벽으로부터 이격하도록 상기 이송관 내에 배치되는 차단 시트를 포함하며,상기 차단 시트는 상기 제1 노즐로부터 분사되는 세정액이 상기 차단 시트의 내측에 위치하는 이송관의 일 영역으로 유입되는 것을 차단하는 반응 시스템
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105190833 CN 중국 FAMILY
2 EP02956958 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02956958 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP06078172 JP 일본 FAMILY
5 JP28508442 JP 일본 FAMILY
6 US20150368795 US 미국 FAMILY
7 WO2014126318 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105190833 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105190833 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP2956958 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP2956958 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP2956958 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 JP2016508442 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP6078172 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 TW201432783 TW 대만 DOCDBFAMILY
9 TWI524373 TW 대만 DOCDBFAMILY
10 US2015368795 US 미국 DOCDBFAMILY
11 WO2014126318 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.