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웨이퍼의 가공 장치 및 가공 방법

  • 기술번호 : KST2015070767
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시예는 복수 개의 캐리어가 배치되는 제1 정반; 상기 제1 정반의 중앙 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제1 기어; 상기 제1 정반의 가장 자리 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제2 기어; 상기 제1 정반을 제1 방향으로 회전시키는 모터; 상기 제1 정반과 마주보고 배치되는 고정 행거; 및 상기 고정 행거에 매달려, 상기 제1 정반과의 클리어런스(clearance)가 유동하는 제2 정반을 포함하는 웨이퍼의 가공 장치를 제공한다
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B24B 37/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020130019710 (2013.02.25)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1458035-0000 (2014.10.29)
공개번호/일자 10-2014-0105919 (2014.09.03) 문서열기
공고번호/일자 (20141104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.25)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이준희 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0165756-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2013-0097674-98
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0868434-14
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0112792-56
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0112790-65
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2014.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0436427-63
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0716795-93
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.07.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0716793-02
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0663393-67
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수 개의 캐리어가 배치되는 제1 정반;상기 제1 정반의 중앙 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제1 기어;상기 제1 정반의 가장 자리 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제2 기어;상기 제1 정반을 제1 방향으로 회전시키는 모터;상기 제1 정반과 마주보고 배치되는 고정 행거;상기 고정 행거에 매달려, 상기 제1 정반과의 클리어런스(clearance, 간격)가 가변인 제2 정반;상기 제2 정반의 상기 고정 행거와 마주 보는 영역에 배치되는 적어도 2개의 돌기; 및상기 돌기에 각각 체결되어 상기 제2 정반의 제2 방향으로의 이동을 저지하는 지지 부재를 포함하고,상기 각각의 지지 부재는, 상기 제2 정반의 외곽에서 연장된 몸체와, 상기 몸체와 결합되어 상기 돌기를 감싸는 적어도 하나의 지지 유닛을 포함하는 웨이퍼의 가공 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 제2 정반은 상기 제1 정반과 마주보고 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
3 3
제1 항에 있어서,상기 제2 정반 상에 배치되는 제1 도르래 유닛과 상기 고정 행거 상에 배치되는 제2 도르래 유닛을 더 포함하는 웨이퍼의 가공 장치
4 4
제3 항에 있어서,상기 제1 도르래 유닛과 상기 제2 도르래 유닛에 의하여 가이드되는 케이블을 더 포함하는 웨이퍼의 가공 장치
5 5
제4 항에 있어서,상기 제1 도르래 유닛과 상기 제2 도르래 유닛은 각각 복수의 도르래를 포함하고, 상기 제1 도르래 유닛 내의 상기 도르래의 개수과 상기 제2 도르래 유닛 내의 상기 도르래의 개수는 동일한 웨이퍼의 가공 장치
6 6
제5 항에 있어서,상기 제1 도르래 유닛 내의 복수의 도르래와 상기 제2 도르래 유닛 내의 복수의 도르래는 서로 교번하여 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
7 7
제4 항에 있어서,상기 제2 도르래 유닛 내의 상기 복수의 도르래는 상기 고정 행거의 가장자리에서 돌출되어 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
8 8
제7 항에 있어서,상기 제1 도르래 유닛 내의 복수의 도르래를 연결하는 원주는, 상기 제2 도르래 유닛 내의 복수의 도르래를 연결하는 원주와 윤곽이 동일한 웨이퍼의 가공 장치
9 9
삭제
10 10
제1 항에 있어서,상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 나란한 웨이퍼의 가공 장치
11 11
제1 항에 있어서,상기 돌기는 상기 제2 정반의 중앙 영역을 사이에 두고 서로 마주보고 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
12 12
삭제
13 13
제1 항에 있어서,상기 각각의 지지부재의 몸체는 상기 각각의 돌기의 일측면과 접촉하고, 상기 하나의 돌기에 대하여 상기 각각의 지지 부재의 몸체는 동일한 회전 방향에 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
14 14
제1 항에 있어서,상기 제2 정반을 관통하는 복수의 관통 홀이 배치되고, 상기 관통홀은 상기 제2 정반의 중앙 영역에서 상기 제2 정반의 가장 자리 영역보다 조밀하게 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
15 15
제1 항에 있어서,상기 제1 정반 상에 배치되고 상기 제1 기어와 상기 제2 기어의 사이에 배치되는 제1 패드, 및 상기 제2 정반 상에 배치되는 제2 패드를 더 포함하는 웨이퍼의 가공 장치
16 16
제15 항에 있어서,상기 제2 정반 상에 상기 제1 패드와 마주보고 배치되는 제2 패드를 더 포함하고, 상기 제2 패드는 상기 제1 패드와 마주보는 면의 윤곽이 상기 제1 패드의 윤곽과 반대인 웨이퍼의 가공 장치
17 17
제1 정반의 중앙 영역의 제1 기어와 가장 자리 영역의 제2 기어 사이에, 각각 복수의 웨이퍼가 배치된 복수의 캐리어를 상기 제1 기어와 상기 제2 기어와 맞물리도록 배치하는 단계;상기 제1 정반 상에 상기 제1 정반과 마주보도록 제2 정반을 배치하는 단계;상기 제1 정반을 제1 방향으로 회전시키는 단계; 및상기 제2 정반의 고정 행거와 마주 보는 영역에 적어도 2개의 돌기를 배치하고, 상기 돌기에 각각 지지 부재를 체결하여 상기 제2 정반의 제2 방향으로의 이동을 저지하는 단계를 포함하고,상기 제2 정반은 상기 제1 정반과의 클리어런스(clearance, 간격)가 가변인 웨이퍼의 가공 방법
18 18
제17 항에 있어서,상기 제2 정반을 상기 제1 방향으로 고정시키는 웨이퍼의 가공 방법
19 19
복수 개의 캐리어가 배치되는 제1 정반;상기 제1 정반의 중앙 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제1 기어;상기 제1 정반의 가장 자리 영역에 배치되고, 상기 복수 개의 캐리어와 맞물리는 제2 기어;상기 제1 정반을 제1 방향으로 회전시키는 모터;상기 제1 정반과 마주보고 배치되고, 제1 도르래 유닛이 배치되는 제2 정반;상기 제2 정반을 상에 두고 상기 제1 정반과 마주보며 배치되고, 상기 제1 도르래 유닛과 케이블에 의하여 가이드되는 제2 도르래 유닛이 배치되는 고정 행거;상기 제2 정반의 상기 고정 행거와 마주 보는 영역에 배치되는 적어도 2개의 돌기; 및상기 돌기에 각각 체결되어 상기 제2 정반의 제2 방향으로의 이동을 저지하는 지지 부재를 포함하고,상기 각각의 지지 부재는, 상기 제2 정반의 외곽에서 연장된 몸체와, 상기 몸체와 결합되어 상기 돌기를 감싸는 적어도 하나의 지지 유닛을 포함하는 웨이퍼의 가공 장치
20 20
제19 항에 있어서,상기 제2 정반을 관통하는 복수의 관통 홀이 배치되고, 상기 관통 홀은 상기 제2 정반의 중앙 영역에서 상기 제2 정반의 가장 자리 영역보다 조밀하게 배치되는 웨이퍼의 가공 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP28507163 JP 일본 FAMILY
2 US09576807 US 미국 FAMILY
3 US20150380255 US 미국 FAMILY
4 WO2014129708 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2016507163 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2015380255 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US9576807 US 미국 DOCDBFAMILY
4 WO2014129708 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.