1 |
1
제1 도전성 타입의 불순물을 함유하는 반도체 기판;상기 기판의 제1 면에 위치하며, 상기 제1 도전성 타입의 반대 도전성을 갖는 제2 도전성 타입의 불순물을 상기 기판으로 확산시켜 형성한 에미터부;상기 에미터부의 전면(front surface)에 위치하고, 복수의 제1 개구부를 구비하는 제1 유전층;상기 기판의 후면(back surface)과 접촉하며, 불순물을 함유하지 않는 진성 비정질 실리콘(i-a-Si)층;상기 진성 비정질 실리콘층의 후면에 위치하며, 상기 제1 도전성 타입의 불순물을 상기 반도체 기판에 비해 고농도로 함유하는 비정질 실리콘(a-Si) 후면 전계부;상기 비정질 실리콘 후면 전계부의 후면(back surface)에 위치하고, 복수의 제2 개구부를 구비하는 제2 유전층;상기 제1 개구부를 통해 노출된 상기 에미터부와 연결되는 제1 전극; 및상기 제2 개구부를 통해 노출된 상기 후면 전계부와 연결되는 제2 전극을 포함하는 양면 수광형 태양전지
|
2 |
2
제1항에서,상기 비정질 실리콘 후면 전계부는 상기 기판의 후면 전체에 위치하는 양면 수광형 태양전지
|
3 |
3
제1항에서,상기 제2 유전층에 형성된 복수의 개구부 사이의 간격은 100㎛ 내지 500㎛로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
4 |
4
제1항에서,상기 제1 도전성 타입은 n형이고, 상기 제2 도전성 타입은 p형인 양면 수광형 태양전지
|
5 |
5
제1항에서,상기 제1 전극은 상기 반도체 기판의 전면에 위치하며 제1 방향으로 연장된 복수의 제1 핑거 전극을 포함하는 양면 수광형 태양전지
|
6 |
6
제5항에서,상기 제1 전극은 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 연장된 복수의 제1 버스바 전극을 더 포함하며, 상기 제1 버스바 전극은 상기 제1 핑거 전극과 물리적으로 연결되는 양면 수광형 태양전지
|
7 |
7
제6항에서,상기 제1 핑거 전극과 상기 제1 버스바 전극은 도금층을 포함하는 양면 수광형 태양전지
|
8 |
8
제1항에서,상기 비정질 실리콘 후면 전계부의 후면에 위치하며 상기 제1 도전성 타입의 불순물을 상기 반도체 기판에 비해 고농도로 함유하는 미세 결정 실리콘(mc-Si)층을 더 포함하며,상기 제2 전극의 전면(front surface) 전체는 상기 미세 결정 실리콘층과 직접 접촉하는 양면 수광형 태양전지
|
9 |
9
제8항에서,상기 제2 전극은 도금층을 포함하는 양면 수광형 태양전지
|
10 |
10
제1항에서,상기 비정질 실리콘 후면 전계부의 후면에 위치하며 상기 제1 도전성 타입의 불순물을 상기 반도체 기판에 비해 고농도로 함유하는 미세 결정 실리콘(mc-Si)층을 더 포함하며,상기 비정질 실리콘 후면 전계부의 두께는 상기 미세 결정 실리콘층의 두께보다 크게 형성되고, 상기 미세 결정 실리콘층의 두께는 상기 진성 비정질 실리콘층의 두께보다 크게 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
11 |
11
제10항에서,상기 진성 비정질 실리콘층은 1㎚ 내지 5㎚의 두께로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
12 |
12
제10항에서,상기 비정질 실리콘 후면 전계부는 10㎚ 내지 30㎚의 두께로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
13 |
13
제10항에서,상기 미세 결정 실리콘층은 5㎚ 내지 10㎚의 두께로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
14 |
14
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에서,상기 제2 유전층은 제1 후면 유전층 및 제2 후면 유전층을 포함하며, 상기 제1 후면 유전층 및 상기 제2 후면 유전층은 각각 상기 비정질 실리콘 후면 전계부와 반대 도전의 고정 전하를 갖는 양면 수광형 태양전지
|
15 |
15
제14항에서,상기 제1 유전층은 상기 에미터부와 반대 도전형의 고정 전하를 갖는 제1 전면 유전층, 상기 에미터부와 동일 도전형의 고정 전하를 가지며 상기 제1 전면 유전층의 전면에 위치하는 제2 전면 유전층, 및 상기 에미터부와 동일 도전형의 고정 전하를 가지며 상기 제2 전면 유전층의 전면에 위치하는 제3 전면 유전층을 포함하는 양면 수광형 태양전지
|
16 |
16
제15항에서,상기 제1 후면 유전층과 상기 제2 전면 유전층은 서로 동일한 물질로 형성되고, 상기 제2 후면 유전층과 상기 제3 전면 유전층은 서로 동일한 물질로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
17 |
17
제16항에서,상기 제1 후면 유전층과 상기 제2 전면 유전층은 실리콘 질화막으로 형성되고, 상기 제2 후면 유전층과 상기 제3 전면 유전층은 실리콘 산화막으로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|
18 |
18
제16항에서,상기 제1 전면 유전층은 알루미늄 산화막으로 형성되는 양면 수광형 태양전지
|