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롤투롤 방식의 박막 제작 장치

  • 기술번호 : KST2015071067
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그래핀의 제조 장치에 관한 것으로 특히, 줄 히팅을 이용한 그래핀의 제조 장치에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명은, 가스 유입부 및 배기부를 포함하는 챔버; 상기 챔버 내에 위치하여, 촉매 금속을 롤 상태로 공급할 수 있는 공급부; 상기 촉매 금속 상에 그래핀을 형성할 수 있는 형성 영역을 정의하고, 상기 형성 영역의 양측에 접촉하는 접촉부; 상기 촉매 금속을 롤 상태로 수납할 수 있는 수납부; 및 상기 접촉부를 통하여 상기 형성 영역에 전류를 공급하는 전류 공급부를 포함하여 구성될 수 있다.
Int. CL C01B 32/184 (2017.01.01) C23C 14/54 (2018.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01)
CPC C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자 1020130038174 (2013.04.08)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0121664 (2014.10.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황두섭 대한민국 서울 서초구
2 임유봉 대한민국 서울 서초구
3 이영진 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한)케이비케이 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0304005-11
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1163052-07
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2018-0313740-45
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.04.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0023881-93
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0850833-70
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0083871-92
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.01.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-0083870-46
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.01.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0083872-37
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0268795-05
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2020-0499894-21
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.05.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0499895-77
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0415330-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버;상기 챔버 내에 위치하여 기판을 롤 상태로 공급하며, 박막 형성을 위한 형성 영역을 제공하는 적어도 한 쌍의 롤러를 포함하고, 상기 적어도 한 쌍의 롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러인 제 1롤러; 상기 제 1롤러의 일측에 위치하여 상기 형성 영역에 상기 기판을 공급하는 다수의 제 2롤러; 및상기 형성 영역 상에 위치하는 증착원을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제 1롤러는, 상기 형성 영역의 양측에 위치하는 적어도 한 쌍의 히팅 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 증착원의 기판 대향 측에는, 기판 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 증착원은 두 개소 이상인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 두 개소의 증착원 사이에는 두 증착원의 간섭을 막기 위한 차단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
6 6
제 5항에 있어서, 상기 차단부는, 상기 기판의 양측에 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
7 7
제 4항에 있어서, 상기 두 개소 이상의 증착원의 기판 대향측에는, 두 개소 이상의 기판 지지부가 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
8 8
제 1항에 있어서, 상기 제 2롤러 중 적어도 하나는 히팅 롤러인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
9 9
제 1항에 있어서, 상기 챔버는, 금속 또는 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
10 10
제 1항에 있어서, 상기 제 1롤러와 제 2롤러는, 상기 기판의 공급 방향이 변화되도록 서로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 롤투롤 방식의 박막 제작 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.