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챔버 내에 촉매 금속 층을 로딩하는 단계;상기 촉매 금속 층의 방위가 변경되도록 상기 촉매 금속 층에 장력을 가하는 단계; 및상기 촉매 금속 층에 장력을 가한 상태에서 상기 챔버 내에 탄소 공급원을 공급하여 상기 촉매 금속 층 상에 그래핀을 형성하는 단계를 포함하는 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 장력의 크기는, 0
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제 1항에 있어서, 상기 장력이 가해진 촉매 금속 층의 평균 그레인 크기는, 100 ㎛ 내지 500 ㎛인 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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삭제
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제 1항에 있어서, 상기 촉매 금속 층의 방위는, (111) 방위로 변경되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 촉매 금속 층의 두께는, 10 ㎛ 내지 50 ㎛인 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 촉매 금속 층에 장력을 가하는 단계는, 상기 촉매 금속 층에 장력을 가한 상태에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 촉매 금속 층에 장력을 가하는 단계는, 상기 촉매 금속 층의 상하 또는 좌우로 장력을 가하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 1항에 있어서, 상기 챔버 내에 촉매 금속 층을 로딩하는 단계는, 상기 촉매 금속 층을 수직으로 로딩하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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10
제 1항 내지 제 3항, 제 5항 내지 제 9항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 그래핀
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가스 유입구와 배출구를 포함하고, 촉매 금속 층이 로딩되는 챔버; 및상기 촉매 금속 층의 어느 일단에 연결되는 무게 추 또는 탄성 부재를 포함하는 텐션부를 포함하여, 상기 챔버 내에 로딩되는 촉매 금속 층에 장력을 부여하는 텐션 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 장치
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삭제
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제 11항에 있어서, 상기 텐션부에 연결되어 상기 촉매 금속 층에 부여되는 장력을 가변시키는 텐션 조절부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 장치
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제 11항에 있어서, 상기 챔버 내에는, 상기 촉매 금속 층을 공급하는 공급롤; 및상기 촉매 금속 층을 권취하는 권취롤을 포함하여 구성되어, 상기 촉매 금속 층을 롤 형태로 공급하는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 장치
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제 14항에 있어서, 상기 텐션부는, 상기 공급롤과 권취롤 사이의 위치에서 상기 챔버의 외측에 설치되는 것을 특징으로 하는 그래핀 제조 장치
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