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그래핀의 제조 장치에 있어서,그래핀 형성 영역을 포함하는 형성 챔버;상기 형성 챔버에 연결구를 통하여 연결되는 분해 챔버;상기 분해 챔버 내에 위치하여 탄소 공급원을 분해하는 소스 분해부; 및상기 소스 분해부 및 형성 챔버를 통하여 촉매 금속을 공급하는 공급 장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 분해 챔버는, 상기 탄소 공급원이 유입되는 유입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 탄소 공급원은, 상기 분해 챔버 내의 상기 소스 분해부를 통과하고 상기 연결구를 통하여 상기 형성 챔버에 공급되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 소스 분해부는, 플라즈마 발생 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 공급 장치는, 롤러를 포함하여, 상기 롤러를 통하여 상기 소스 분해부 및 형성 챔버를 통하여 촉매 금속을 연속적으로 공급하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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그래핀의 제조 방법에 있어서,촉매 금속을 형성 챔버에 공급하는 단계;탄소 공급원을 주입하는 단계;플라즈마 발생 장치를 이용하여 상기 탄소 공급원을 분해하는 단계; 및상기 탄소 공급원이 분해된 탄소를 형성 영역을 주입하여 그래핀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 탄소 공급원과 함께 환원 가스를 더 공급하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 7항에 있어서, 상기 탄소 공급원을 분해하는 단계는, 상기 탄소 공급원이 주입되는 분해 챔버에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 10항에 있어서, 상기 촉매 금속은, 상기 분해 챔버 및 형성 챔버를 통하여 연속적으로 공급되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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