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그래핀의 제조 장치에 있어서,가스 유입구와 배출구를 포함하고, 촉매 금속이 로딩되는 챔버; 및상기 챔버의 가열 영역의 일측에 위치하여 그래핀과 촉매 금속의 열팽창의 차이를 보상하는 열팽창 보상부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 열팽창 보상부는,상기 가열 영역의 외측에 위치하는 냉각 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 1항에 있어서, 상기 열팽창 보상부는, 상기 촉매 금속의 제 1축 방향으로 힘을 가하는 제 1부분; 및상기 촉매 금속의 제 1축 방향에 수직인 제 2축 방향으로 힘을 가하는 제 2부분 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제 1축 방향은, 상기 촉매 금속을 상기 챔버 내로 공급하는 방향인 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제 1축 방향으로 가해지는 힘 또는 제 2축 방향으로 가해지는 힘은 0
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제 3항에 있어서, 상기 제 1축 방향으로 가해지는 힘은 상기 촉매 금속을 공급하는 롤러에 의하여 가해지는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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제 3항에 있어서, 상기 제 1축 방향으로 가해지는 힘 및 제 2축 방향으로 가해지는 힘 중 적어도 어느 하나는 지그를 통하여 가해지는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 장치
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챔버 내에 촉매 금속을 로딩하는 단계;상기 챔버 내에 탄소 공급원을 공급하여 상기 촉매 금속 상에 그래핀을 형성하는 단계;상기 촉매 금속을 냉각시키는 단계; 및상기 촉매 금속과 그래핀 사이의 열팽창을 보상하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 열팽창을 보상하는 단계는, 상기 촉매 금속을 상기 챔버 내로 공급하는 방향인 제 1축 방향으로 힘을 가하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 열팽창을 보상하는 단계는, 상기 촉매 금속의 제 1축 방향에 수직인 제 2축 방향으로 힘을 가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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11
제 8항에 있어서, 상기 제 1축 방향으로 가해지는 힘은 상기 촉매 금속을 공급하는 롤러에 의하여 가해지는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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12
제 8항에 있어서, 상기 제 1축 방향으로 가해지는 힘 또는 제 2축 방향으로 가해지는 힘은 0
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제 8항 내지 제 12항 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 그래핀
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