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제1 방향으로 기울기를 가지도록 복수개의 계단을 형성하는 성장면을 포함하는 기판;상기 성장면 상에 배치되며, A 면 또는 M 면이 상부에 위치하고, 상면에 복수의 돌출부를 형성하고, 상기 복수의 돌출부를 연결하는 경사면을 포함하며, 질화물을 포함하는 제1 층;유전물질을 포함하며, 적어도 일부분이 상기 돌출부 상에 배치되는 마스크층; 및상기 마스크층 상에 배치되며, 질화물을 포함하는 제2 층;을 포함하고,상기 마스크층은 서로 이격된 복수의 부분을 포함하고, 상기 마스크층의 후면 전체가 상기 제1 층의 전면과 직접 접하는 성장기판
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제1항에 있어서,상기 기판의 복수의 계단의 단축의 길이는 서로 길이가 동일한 성장기판
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제1항에 있어서,상기 기판의 복수개의 계단의 끝단을 잇는 가상의 선은 육방정계의 R 면과 경사각을 형성하는 성장기판
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제3항에 있어서,상기 가상의 선과 육방정계의 R면이 이루는 각도는 0
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제1항에 있어서,상기 마스크층과 상기 제2 층은 그 사이에 공기 간극을 형성되는 성장기판
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제1항에 있어서,상기 제1 층의 상면과 상기 제2 층의 상면은 동일한 결정면을 가지는 성장기판
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제1항에 있어서,상기 마스크층은, 실리콘 질화막, 알루미늄 질화막, 실리콘 산화막, Al2O3, TiO2, HfO, ZnO, Ni, Cu, Ag, ITO, Al, 실리카 및 그래핀 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 성장기판
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제1항에 있어서,상기 마스크층은 상기 제1 층과 상기 제2 층이 접하도록, 나노포러스(nano-porous) 구조를 포함하는 성장기판
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제1항 내지 제8항 중 어느 한 항의 성장기판;상기 성장기판 상에 위치하는 제1 반도체층;상기 제1 반도체층 상에 배치되는 제2 반도체층; 및상기 제1 반도체층 및 상기 제2 반도체층의 사이에 배치되어 빛을 발광하는 활성층;을 포함하는 발광 소자
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