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기판 상에 그래핀을 형성하는 단계;상기 그래핀 상에 도전성 재료 또는 도펀트를 포함하는 잉크 패턴을 형성하는 단계;상기 잉크 패턴을 건조하는 단계; 및상기 잉크 패턴을 이용하여 상기 그래핀을 식각하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 도전성 재료는, 전도성 고분자, 금속 입자, 금속 잉크, 탄소나노튜브, 실리콘 나노 와이어 및 AuCl3 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제2항에 있어서, 상기 금속 잉크는, 금속 입자가 용매에 분산된 잉크 또는 유기금속 전구체가 용매에 용해된 잉크 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 도펀트는, 아민 화합물을 포함한 고분자 및 유기물 물질을 포함하는 n-형 도펀트, 플루오르 폴리머를 포함하는 p-형 도펀트 및 금속염 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 n-형 도펀트는, 폴리에틸렌아민, 히드라진, 피리딘, 피롤, 아세토니트릴, 트리에타놀아민 및 아닐린, 또는 이들의 조합으로 이루어진 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 p-형 도펀트는, TFSA, polyperfluorobutenylvinylether, amorphous fluoropolymer 및 CYTOP, 또는 이들의 조합으로 이루어진 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 그래핀을 식각하는 단계는, 건식 식각 과정을 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 건식 식각 과정은, 상기 도전성 재료 또는 도펀트와 반응하지 않는 과정을 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 도전성 재료 또는 도펀트와 반응하지 않는 과정은 Ar 플라즈마를 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 잉크 패턴을 형성하는 단계는, 그라비어 프린팅, 플랙소그래픽 프린팅, 스크린 프린팅, 오프셋 프린팅 및 잉크젯 프린팅 중 어느 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 패턴 된 그래핀의 제조 방법
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제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 패턴 된 그래핀
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