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제1 도전성 타입을 갖는 기판의 후면 일부 영역에 상기 제1 도전성 타입의 불순물을 함유하는 도펀트 페이스트를 도포하는 도펀트 페이스트 도포 단계;상기 도펀트 페이스트의 불순물을 열 확산법을 이용하여 상기 기판의 후면으로 확산시켜 상기 기판의 후면에 국부적 후면 전계부(LBSF; local back surface field)를 형성하는 국부적 후면 전계부 형성 단계;상기 제1 도전성 타입의 반대인 제2 도전성 타입의 불순물을 함유하는 에미터부를 이온 주입법을 이용하여 상기 기판의 전면에 형성하는 에미터부 형성 단계; 및상기 에미터부와 연결된 전면 전극부 및 상기 국부적 후면 전계부와 연결된 후면 전극부를 형성하는 전극부 형성 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제1항에서,상기 도펀트 페이스트 도포 단계에서,상기 도펀트 페이스트는 상기 기판의 후면 중 제1 영역에 도포하는 태양전지의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에서,상기 에미터부 형성 단계와 상기 전극부 형성 단계 사이에,상기 기판의 전면에는 전면 유전층을 형성하고 상기 기판의 후면에는 후면 유전층을 형성하는 유전층 형성 단계를 더 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제3항에서,상기 전극부 형성 단계에서, 상기 전면 전극부와 상기 후면 전극부를 그리드 패턴(grid pattern)으로 각각 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제4항에서,상기 전면 전극부 및 상기 후면 전극부는 제1 도전성 입자 및 글라스 프릿을 포함하는 제1 도전 페이스트를 상기 전면 유전층 및 상기 후면 유전층 위에 그리드 패턴으로 각각 도포한 후, 상기 전면 유전층에 도포된 제1 도전 페이스트와 상기 후면 유전층에 도포된 제1 도전 페이스트를 동시에 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제3항에서,상기 전극부 형성 단계에서,상기 전면 전극부는 그리드 패턴으로 형성하고, 상기 후면 전극부는 상기 국부적 후면 전계부와 접촉하는 접촉부를 포함하는 면(sheet) 패턴으로 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제6항에서,상기 전면 전극부는 제1 도전성 입자 및 글라스 프릿을 포함하는 제1 도전 페이스트를 상기 전면 유전층 위에 그리드 패턴으로 도포한 후 상기 제1 도전 페이스트를 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제7항에서,상기 후면 전극부는 상기 제1 영역에 위치한 국부적 후면 전계부를 노출하는 개구부를 상기 후면 유전층에 형성하고, 제2 도전성 입자를 포함하는 제2 도전 페이스트를 상기 기판의 후면 전체에 면 패턴으로 도포한 후 상기 제2 도전 페이스트를 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제8항에서,상기 제1 도전성 입자와 상기 제2 도전성 입자를 서로 다른 금속 물질로 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제8항에서,상기 제1 도전 페이스트와 상기 제2 도전 페이스트를 동시에 열처리하는 태양전지의 제조 방법
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제1 도전성 타입을 갖는 기판의 후면 전체에 상기 제1 도전성 타입의 불순물을 함유하는 도펀트 페이스트를 도포하는 도펀트 페이스트 1차 도포 단계;상기 도펀트 페이스트의 일부 영역에 상기 도펀트 페이스트를 도포하는 도펀트 페이스트 2차 도포 단계;상기 도펀트 페이스트의 불순물을 열 확산법을 이용하여 상기 기판의 후면으로 확산시켜 고농도 불순물부와 저농도 불순물부를 포함하는 선택적 후면 전계부(SBSF; selective back surface field)를 상기 기판의 후면에 형성하는 선택적 후면 전계부 형성 단계;상기 제1 도전성 타입의 반대인 제2 도전성 타입의 불순물을 함유하는 에미터부를 이온 주입법을 이용하여 상기 기판의 전면에 형성하는 에미터부 형성 단계; 및상기 에미터부와 연결된 전면 전극부 및 상기 선택적 후면 전계부와 연결된 후면 전극부를 형성하는 전극부 형성 단계를 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제11항에서,상기 도펀트 페이스트 2차 도포 단계에서,상기 도펀트 페이스트는 상기 1차 도포된 도펀트 페이스트의 후면 중 제1 영역에 도포하는 태양전지의 제조 방법
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제11항 또는 제12항에서,상기 에미터부 형성 단계와 상기 전극부 형성 단계 사이에,상기 기판의 전면에는 전면 유전층을 형성하고 상기 기판의 후면에는 후면 유전층을 형성하는 유전층 형성 단계를 더 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제13항에서,상기 전극부 형성 단계에서, 상기 전면 전극부와 상기 후면 전극부를 그리드 패턴(grid pattern)으로 각각 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제14항에서,상기 전면 전극부 및 상기 후면 전극부는 제1 도전성 입자 및 글라스 프릿을 포함하는 제1 도전 페이스트를 상기 전면 유전층 및 상기 후면 유전층 위에 그리드 패턴으로 각각 도포한 후, 상기 전면 유전층에 도포된 제1 도전 페이스트와 상기 후면 유전층에 도포된 제1 도전 페이스트를 동시에 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제13항에서,상기 전극부 형성 단계에서,상기 전면 전극부는 그리드 패턴으로 형성하고, 상기 후면 전극부는 상기 선택적 후면 전계부의 상기 고농도 불순물부와 접촉하는 접촉부를 포함하는 면(sheet) 패턴으로 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제16항에서,상기 전면 전극부는 제1 도전성 입자 및 글라스 프릿을 포함하는 제1 도전 페이스트를 상기 전면 유전층 위에 그리드 패턴으로 도포한 후 상기 제1 도전 페이스트를 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제17항에서,상기 후면 전극부는 상기 제1 영역에 위치한 상기 고농도 불순물부를 노출하는 개구부를 상기 후면 유전층에 형성하고, 제2 도전성 입자를 포함하는 제2 도전 페이스트를 상기 기판의 후면 전체에 면 패턴으로 도포한 후 상기 제2 도전 페이스트를 열처리하는 것에 의해 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제18항에서,상기 제1 도전성 입자와 상기 제2 도전성 입자를 서로 다른 금속 물질로 형성하는 태양전지의 제조 방법
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제18항에서,상기 제1 도전 페이스트와 상기 제2 도전 페이스트를 동시에 열처리하는 태양전지의 제조 방법
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