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금속 물질로 형성되는 제1층; 및 상기 제1층의 일면에 러버 재질로 형성되며 기판과 접촉되는 제2층;을 포함하고 상기 제1층 및 제2층은 다수의 셀 영역 각각의 표시영역에 대응되는 다수의 개구영역과, 상기 다수의 개구영역의 경계를 둘러싸는 차단영역으로 구분되고,상기 제2층의 외곽 사이즈는 상기 제1층의 외곽 사이즈보다 작은 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 포토마스크
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제 1항에 있어서, 상기 제2층은 폴리테트라 플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 테프론(Teflon), 폴리프로필렌(polypropylene, PP), 폴리에틸렌(polyethylene:PE), 실리콘 및 우레탄 중 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 포토마스크
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금속 물질로 형성되는 제1층; 및 상기 제1층의 일면에 러버 재질로 형성되며 기판과 접촉되는 제2층;을 포함하고 상기 제1층 및 제2층은 다수의 셀 영역 각각의 표시영역에 대응되는 다수의 개구영역과, 상기 다수의 개구영역의 경계를 둘러싸는 차단영역으로 구분되고, 상기 제2층의 다수의 개구영역 각각은 상기 제1층 보다 크게 형성되고, 상기 제2층의 차단영역의 폭은 상기 제1층 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 포토마스크
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제 1항 및 제 4항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 다수의 셀 영역 각각은 상기 기판 내의 부화소에 대응되는 다수의 투과부와, 상기 다수의 투과부의 경계를 둘러싸는 차단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 포토마스크
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제 5항에 있어서, 상기 제2층의 다수의 투과부 각각은 상기 제1층 보다 크게 형성되고,상기 제2층의 차단부의 폭은 상기 제1층 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치 제조용 포토마스크
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다수의 셀 영역을 포함하는 원판기판이 안착되는 스테이지와;포토마스크를 포함하고 상하로 이동하며 상기 스테이지에 안착된 상기 원판기판의 상부로 위치되는 포토마스크부; 및 상부로 상기 포토마스크가 위치된 상기 원판기판에 광을 조사하는 광 조사 유닛을 포함하고, 상기 포토마스크는 금속 물질로 형성되는 제1층과, 상기 제1층의 일면에 러버 재질로 형성되며 상기 원판기판과 접촉하는 제2층을 포함하고, 상기 제1층 및 제2층은 상기 다수의 셀 영역 각각의 표시영역에 대응되는 다수의 개구영역과, 상기 다수의 개구영역의 경계를 둘러싸는 차단영역으로 구분되고,상기 제2층의 외곽 사이즈는 상기 제1층의 외곽 사이즈보다 작은 것을 특징으로 하는 스테이지 시스템
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제 7항에 있어서, 상기 광 조사 유닛은UV광을 발생하는 램프와, 상기 램프에서 출사된 UV광에서 특정 파장을 차단하는 필터부 및 상기 필터부에 의해 필터된 UV광을 편광시키는 편광부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 시스템
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다수의 셀 영역을 포함하는 원판기판이 안착되는 스테이지와;포토마스크를 포함하고 상하로 이동하며 상기 스테이지에 안착된 상기 원판기판의 상부로 위치되는 포토마스크부; 및 상부로 상기 포토마스크가 위치된 상기 원판기판에 광을 조사하는 광 조사 유닛을 포함하고, 상기 포토마스크는 금속 물질로 형성되는 제1층과, 상기 제1층의 일면에 러버 재질로 형성되며 상기 원판기판과 접촉하는 제2층을 포함하고, 상기 제1층 및 제2층은 상기 다수의 셀 영역 각각의 표시영역에 대응되는 다수의 개구영역과, 상기 다수의 개구영역의 경계를 둘러싸는 차단영역으로 구분되고,상기 제2층의 다수의 개구영역 각각은 상기 제1층 보다 크게 형성되고, 상기 제2층의 차단영역의 폭은 상기 제1층 보다 작게 형성되는 것을 특징으로 하는 스테이지 시스템
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