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도펀트 반응 장치

  • 기술번호 : KST2015071823
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  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실시 예는 서로 격리되는 복수의 수납실들을 포함하는 몸체, 상기 복수의 수납실들 각각으로 가스를 분사하는 가스 분사관, 상기 복수의 수납실들 각각의 내부에 위치하고, 상기 가스 분사관으로부터 분사되는 가스와 반응하는 도펀트 입자들을 수용하는 수납관, 및 상기 수납관 내에 위치하고, 상기 도펀트 입자들을 뒤섞는 교반기를 포함한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01) H01L 21/265 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01)H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020130080101 (2013.07.09)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1487408-0000 (2015.01.22)
공개번호/일자 10-2015-0006570 (2015.01.19) 문서열기
공고번호/일자 (20150129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.09)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김무종 대한민국 서울 송파구
2 이상준 대한민국 경북 구미시
3 이종은 대한민국 대구 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2013-0615401-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.03.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0028480-76
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0750242-01
5 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1163210-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-1204722-85
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1204721-39
8 등록결정서
Decision to grant
2015.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0006980-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 격리되는 복수의 수납실들을 포함하는 몸체;상기 복수의 수납실들 각각으로 가스를 분사하는 가스 분사관;상기 복수의 수납실들 각각의 내부에 위치하고, 상기 가스 분사관으로부터 분사되는 가스와 반응하는 도펀트 입자들을 수용하는 수납관; 및상기 수납관 내에 위치하고, 상기 도펀트 입자들을 뒤섞는 교반기를 포함하며,상기 가스 분사관이 분사하는 가스는 공기이고, 상기 도펀트 입자들은 상기 공기와 산화 반응하는 도펀트 반응 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 수납실들 각각은 상기 수납관이 삽입 또는 추출되는 출입구를 갖는 도펀트 반응 장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 가스 분사관의 수는 복수 개이고, 복수의 가스 분사관들은 제1 방향으로 가스를 분사하고, 제2 방향으로 서로 이격하여 배치되며, 상기 제1 방향은 상기 가스 분사관들과 인접하는 상기 수납실의 일 측으로부터 상기 일 측과 마주보는 상기 수납실의 타 측으로 진행하는 방향이고, 상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직인 방향인 도펀트 반응 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 가스 분사관은 제1 방향으로 진행하는 사행 패턴이며, 서로 이격하는 복수의 가스 분사 노즐들이 형성되며, 상기 제1 방향은 상기 가스 분사관들과 인접하는 상기 수납실의 일 측으로부터 상기 일 측과 마주보는 상기 수납실의 타 측으로 진행하는 방향인 도펀트 반응 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 교반기는,상기 수납관 내에 위치하고, 상기 도펀트 입자들을 뒤섞는 프로펠러; 및상기 프로펠러를 회전시키는 모터를 포함하는 도펀트 반응 장치
7 7
제5항에 있어서,상기 가스 분사 노즐은 가스를 분사하는 각도가 조절되는 도펀트 반응 장치
8 8
서로 격리되는 복수의 수납실들을 포함하는 몸체;상기 복수의 수납실들 각각으로 가스를 분사하는 가스 분사관;상기 복수의 수납실들 각각의 내부에 위치하고, 상기 가스 분사관으로부터 분사되는 가스와 반응하는 도펀트 입자들을 수용하는 수납관; 및상기 몸체를 진동시켜 상기 수납관 내에 수용된 도펀트 입자들을 뒤섞는 진동부를 포함하며,상기 진동부는,상기 수납실들 각각에 장착되고, 상기 수납실들 각각을 개별적으로 진동시키는 도펀트 반응 장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 가스 분사관이 분사하는 가스는 공기이고, 상기 도펀트 입자들은 상기 공기와 산화 반응하는 도펀트 반응 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.