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웨이퍼 이송장치

  • 기술번호 : KST2015071976
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요약 본 발명은 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 본 실웨이퍼를 이송하는 이송부; 상기의 이송되는 웨이퍼에 대해서 불량 여부를 센싱할 수 있는 센서부; 상기 센서부에 의하여 측정되는 정보로부터 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라, 상기 이송부에 의해 이송되는 웨이퍼를 선택적으로 분류하기 위한 웨이퍼 분류부; 를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.이러한 본 발명의 따르면 낱장의 웨이퍼 이송 중 자동으로 웨이퍼를 검사하고 불량 웨이퍼를 분류함으로써, 인건비가 절감되고 불량 웨이퍼의 이후 불필요한 공정을 막아 생산량이 향상 및 원가 절감이 가능하게 된다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) B65G 49/07 (2014.01) B28D 5/00 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67271(2013.01) H01L 21/67271(2013.01) H01L 21/67271(2013.01) H01L 21/67271(2013.01)
출원번호/일자 1020130087234 (2013.07.24)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1487096-0000 (2015.01.21)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.07.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오소연 대한민국 경상북도 구미시
2 박정훈 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0668058-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.05.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.06.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0050113-07
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0629573-92
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1070332-27
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-1070333-73
7 등록결정서
Decision to grant
2014.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0880406-52
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 이송하기 위하여, 상기 웨이퍼를 이송되는 방향을 따라 제 1, 제 2 및 제 3 이송부를 포함하는 이송수단;상기 이송되는 웨이퍼의 이미지를 촬영하여, 상기 이송되는 웨이퍼에 대해서 불량 여부를 센싱하기 위하여, 상기 제 2 이송부 상측에 배치되는 센서부; 상기 센서부에 의하여 측정되는 이미지와 정상 웨이퍼의 이미지를 비교하여, 상기 웨이퍼의 불량 여부를 판단하는 제어부; 및상기 제어부의 제어에 따라, 상기 이송수단 의해 이송되는 웨이퍼를 이송 중간에 선택적으로 분류하기 위하여, 상기 웨이퍼 분류부; 를 포함하고,상기 웨이퍼 분류부는 상기 제 3 이송부 위에 배치된 초순수 스프레이를 포함하고,상기 초순수 스프레이는 상기 제어부에서 상기 이송되는 웨이퍼가 불량으로 판단되는 경우, 상기 이송되는 웨이퍼에 초순수를 분사하여 불량 웨이퍼를 파괴하는 웨이퍼 이송장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 3 이송부는 소정의 간격을 두고 이격되도록 배치된 적어도 둘 이상의 벨트시트를 포함하는 웨이퍼 이송장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 제 3 이송부의 벨트시트 사이로 떨어지는 상기 파괴된 웨이퍼 잔해들을 수납하기 위하여, 상기 제 3 이송부 아래에 배치된 웨이퍼 수납부를 더 포함하는 웨이퍼 이송장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 초순수는 정제된 물(H2O)이며, 상기 초순수 스프레이는 0
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9 9
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.