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연마 패드를 이용하여 웨이퍼를 연마하는 웨이퍼 연마 장치에 있어서,헤드 본체;상기 헤드 본체의 아래에 배치되며, 연마되는 상기 웨이퍼의 측면을 지지하여 상기 웨이퍼의 이탈을 방지하는 리테이너 링;상기 웨이퍼의 측면과 상기 리테이너 링의 내주면 사이에 배치되고, 상기 웨이퍼의 연마 면과 동일한 수평선상에 배치된 하부면을 갖는 응력 완충 부재;상기 응력 완충 부재의 상부면과 체결되는 적어도 하나의 실린더; 및상기 응력 완충 부재의 상기 하부면과 상기 웨이퍼에서 연마된 면이 동일한 수평선상에 위치하도록, 상기 웨이퍼가 연마된 두께만큼 상기 실린더를 통해 상기 응력 완충 부재를 인상시키는 실린더 구동부를 포함하고,상기 적어도 하나의 실린더는 상기 응력 완충 부재의 상기 상부면에서 서로 90°만큼 이격되어 배치된 4개의 실린더를 포함하는 웨이퍼 연마 장치
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연마 패드를 이용하여 웨이퍼를 연마하는 웨이퍼 연마 장치에 있어서,헤드 본체;상기 헤드 본체의 아래에 배치되며, 연마되는 상기 웨이퍼의 측면을 지지하여 상기 웨이퍼의 이탈을 방지하는 리테이너 링;상기 웨이퍼의 측면과 상기 리테이너 링의 내주면 사이에 배치되고, 상기 웨이퍼의 연마 면과 동일한 수평선상에 배치된 하부면을 갖는 응력 완충 부재;상기 응력 완충 부재의 상부면과 체결되는 적어도 하나의 실린더; 및상기 응력 완충 부재의 상기 하부면과 상기 웨이퍼에서 연마된 면이 동일한 수평선상에 위치하도록, 상기 웨이퍼가 연마된 두께만큼 상기 실린더를 통해 상기 응력 완충 부재를 인상시키는 실린더 구동부를 포함하고,상기 적어도 하나의 실린더는 상기 응력 완충 부재의 상기 상부면에서 120°만큼 이격되어 배치된 3개의 실린더를 포함하는 웨이퍼 연마 장치
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제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 응력 완충 부재의 상기 하부면의 제1 폭은상기 리테이너 링이 상기 연마 패드를 가압할 때 상기 리테이너 링에 의해 눌려 리바운드되는 상기 연마 패드의 제2 폭 이상인 웨이퍼 연마 장치
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제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 응력 완충 부재는 상기 연마 패드에 의해 상기 웨이퍼가 연마되는 두께와 동일한 두께만큼 상기 연마 패드에 의해 연마될 수 있는 재질을 포함하는 웨이퍼 연마 장치
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삭제
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제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 응력 완충 부재는 상기 리테이너 링과 동일한 평면 형상을 갖고,상기 응력 완충 부재의 내주면은 상기 웨이퍼의 측면과 동일한 평면 형상을 갖는 웨이퍼 연마 장치
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제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 웨이퍼 연마 장치는상기 헤드 본체의 아래에 배치되고, 연마 압력에 의해 상기 웨이퍼를 상기 연마 패드에 밀착시키는 백킹 필름을 더 포함하는 웨이퍼 연마 장치
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제8 항에 있어서, 상기 응력 완충 부재는상기 백킹 필름의 측면과 상기 리테이너 링의 내주면 사이에 배치되는 웨이퍼 연마 장치
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10
제8 항에 있어서, 상기 응력 완충 부재는 상기 백킹 필름의 아래에 배치되고,상기 백킹 필름의 측면은 상기 리테이너 링의 내주면과 접하는 웨이퍼 연마 장치
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