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외부 측면의 일 측 상단에 원료 가스가 유입되는 제1 단차부를 갖는 몸체; 및상기 제1 단차부에 서로 이격하여 배치되는 라이너 격벽들을 포함하며,상기 제1 단차부는,상기 몸체의 외부 측면과 단차를 가지며, 상기 몸체의 상부면과 접하는 제1면; 및상기 몸체의 외부 측면과 상기 제1면 사이에 위치하는 제2면을 포함하며,상기 라이너 격벽들 중 적어도 하나는 경사 각도를 달리하여 상기 제1 단차부의 제1면과 제2면에 체결되며, 상기 경사 각도는 상기 라이너 격벽이 기준선과 이루는 각도이고, 상기 기준선은 상기 제1 단차부의 제2면과 상기 몸체의 외부 측면이 만나는 제1 경계선에 수직한 선인 에피텍셜 반응기의 라이너(liner)
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제1항에 있어서,상기 제1 단차부의 제1면과 제2면에는 상기 경사 각도가 서로 다른 복수의 홈들이 형성되고,상기 라이너 격벽들은 상기 경사 각도가 서로 다른 복수의 홈들 중 어느 하나에 체결되는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제2항에 있어서, 상기 경사 각도가 서로 다른 복수의 홈들은,상기 라이너 격벽들 각각에 대응하는 복수의 그룹들로 구분되고,상기 복수의 그룹들 각각은,상기 기준선과 평행한 제1 홈; 및상기 제1 홈의 일 측에 위치하고, 상기 기준선과 제1 경사각을 갖는 제2 홈을 포함하며, 상기 라이너 격벽들 각각은 상기 복수의 그룹들 중 대응하는 어느 하나에 포함되는 상기 제1 홈 또는 제2 홈에 체결되는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제3항에 있어서, 상기 복수의 그룹들 각각은,상기 제1 홈의 타 측에 위치하고, 상기 기준선과 제2 경사각을 갖는 제3 홈을 더 포함하며,상기 라이너 격벽들 각각은 상기 복수의 그룹들 중 대응하는 어느 하나에 포함되는 상기 제1 홈, 제2 홈, 또는 제3 홈에 체결되는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제4항에 있어서, 상기 제1 내지 제3 홈들 각각은, 상기 제1 단차부의 제1면에 형성되는 제1 부분; 및상기 제1 단차부의 제2면에 형성되는 제2 부분을 포함하며,상기 제1 부분과 상기 제2 부분은 서로 접하는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제5항에 있어서,상기 기준선은 제2 경계선과 수직하며, 상기 제2 경계선은 상기 제1 단차부의 제1면과 상기 몸체의 상부면이 만나는 경계선인 에피텍셜 반응기의 라이너
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제6항에 있어서,상기 제1 홈의 일단, 상기 제2 홈의 일단, 및 상기 제3 홈의 일단은 상기 제1 경계선에서 서로 접하고, 상기 제1 홈의 타단, 상기 제2 홈의 타단, 및 상기 제3 홈의 타단은 상기 제2 경계선에서 서로 이격하는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제6항에 있어서,상기 라이너 격벽들 각각은 대응하는 그룹에 포함되는 제1홈, 제2홈, 또는 제3홈에 착탈 가능한 에피텍셜 반응기의 라이너
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제1항에 있어서,상기 제1 단차부의 제1면 및 제2면 각각에는 복수의 홈들이 형성되며, 상기 복수의 홈들은 복수의 그룹들로 구분되고,상기 복수의 그룹들 각각은,상기 기준선과 평행하도록 상기 제1 단차부의 제1면과 제2면에 배열되는 제1 홈들; 및상기 제1 홈들의 일 측에 위치하고, 상기 기준선을 기준으로 제1 경사각만큼 기울어지도록 배열되는 제2 홈들을 포함하며,상기 라이너 격벽들 각각은 상기 복수의 그룹들 중 대응하는 어느 하나에 포함되는 상기 제1 홈들, 또는 상기 제2 홈들에 체결되는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제9항에 있어서, 상기 복수의 그룹들 각각은,상기 제1홈들의 타 측에 위치하고, 상기 기준선을 기준으로 제2 경사각만큼 기울어지도록 배열되는 제3 홈들을 더 포함하며,상기 라이너 격벽들 각각은 상기 복수의 그룹들 중 대응하는 어느 하나에 포함되는 상기 제1 홈들, 상기 제2 홈들, 또는 상기 제3 홈들에 체결되는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제10항에 있어서, 상기 라이너 격벽들 각각은 상기 제1 홈들, 상기 제2 홈들, 또는 상기 제3홈들과 결합하는 돌기들을 갖는 에피텍셜 반응기의 라이너
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제1항에 있어서, 상기 몸체는,외부 측면의 타 측 상단에 원료 가스가 유출되는 제2 단차부를 갖는 에피텍셜 반응기의 라이너
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웨이퍼를 안착시키는 서셉터;내주면이 상기 서셉터를 둘러싸는 하부 라이너; 및상기 하부 라이너에 대향하도록 상기 하부 라이너 상에 배치되는 상부 라이너를 포함하며,상기 하부 라이너는,외부 측면의 일 측 상단에 원료 가스가 유입되는 제1 단차부를 갖는 몸체; 및상기 제1 단차부에 서로 이격하여 배치되는 라이너 격벽들을 포함하며,상기 제1 단차부는,상기 몸체의 외부 측면과 단차를 가지며, 상기 몸체의 상부면과 접하는 제1면; 및상기 몸체의 외부 측면과 상기 제1면 사이에 위치하는 제2면을 포함하며,상기 라이너 격벽들 중 적어도 하나는 경사 각도를 달리하여 상기 제1 단차부의 제1면과 제2면에 체결되며, 상기 경사 각도는 상기 라이너 격벽이 기준선과 이루는 각도이고, 상기 기준선은 상기 제1 단차부의 제2면과 상기 몸체의 외부 측면이 만나는 제1 경계선에 수직한 선인 에피텍셜 반응기
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