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가변직경형웨이퍼운송장치

  • 기술번호 : KST2015073567
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67742(2013.01) H01L 21/67742(2013.01)
출원번호/일자 1019870014516 (1987.12.18)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0039006-0000 (1991.01.15)
공개번호/일자 10-1989-0011043 (1989.08.12) 문서열기
공고번호/일자 1019900006017 (19900820) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1987.12.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이상수 대한민국 대전시유성구
2 강봉수 대한민국 대전시서구
3 박승교 대한민국 대전시서구
4 유형준 대한민국 충남대전시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시중구
2 한국전기통신공사 대한민국 서울시종로구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1987.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1987-0085266-82
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1987.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1987-0085267-27
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1987.12.18 수리 (Accepted) 1-1-1987-0085268-73
4 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1988.02.08 수리 (Accepted) 1-1-1988-9000840-43
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1990.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1987-0050378-71
6 등록사정서
Decision to grant		 1990.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1987-0050380-63
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

턴테이블(12)에 부착된 직선운동의 기계팔(30)을 이용한 웨이퍼운송장치에 있어서 기계팔(30)의 전단에는 판스프링(45)(451-455)에 부착된 웨이퍼고정핀(44)(441-446)을 설치하고 그 후단에 암 슬라이드(31) 정압스프링(53), 충격흡수판(32) 및 암 슬라이드정지핀(52)을 설치하여 운송기구의 수정없이 각기 다른 직경의 웨이퍼의 중심을 일치시키면서 이송시킬 수 있게한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

2 2

제1항에 있어서 상기 판스프링(45)(451-455)에 부착된 웨이퍼고정핀(44)(441-446)에 의하여 서로 다른 직경의 웨이퍼중심을 일치시킬 수 있게 한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

3 3

제1항에 있어서 기계팔(30)의 전단에 고정핀(41)(411)을 설치하고 그 후면에 판스프링(42)에 고정핀(412)을 설치하여 서로 다른 직경의 웨이퍼 중심을 일치시킬 수 있게한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

4 4

제1항에 있어서 판스프링(45)(451-455)에 설치된 웨이퍼고정핀(44)(441-446)의 높이 위치를 달리하여 서로다른 직경의 웨이퍼중심을 일치시키도록한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

5 5

제1항에 있어서 암 슬라이드(31)의 후단에 정합스프링(53)을 설치하여 서로다른 직경의 웨이퍼중심을 일치시키도록한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

6 6

제1항에 있어서 암 슬라이드(31)에 충격흡수판(32)을 설치하여 기계팔(30)의 전후진시 웨이퍼의 충격을 방지할 수 있도록한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

7 7

제1항에 있어서, 기계판(30)과 암 슬라이드(31) 사이에 볼 리테이너(34)와 암 슬라이드볼(33)을 설치하여 암 슬라이드(31)의 직선운동을 원활하게할 수 있도록한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

8 8

제1항에 있어서 암 슬라이드(31)의 후단에 암 슬라이드정지핀(52)을 설치하여 기계팔(30)은 직선운동을 계속하고 암 슬라이드(31)는 정지시켜 웨이퍼를 놓아주게한 것을 특징으로 하는 가변직경형 웨이퍼운송장치

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP01173736 JP 일본 FAMILY
2 JP02039099 JP 일본 FAMILY
3 US04971512 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP1173736 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JP1614101 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JP2039099 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JPH01173736 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JPH0239099 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US4971512 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.