불화텅스텐(WF6), 수소(H2), 실란(SiH4), 질소(N2), 알곤(Ar) 가스라인이 질량유량조절기(5)를 통하여 주관(1)에 접속되고 상기 주관(1)은 히팅테이프(Heating tape)(14)를 거쳐서 텅스텐 실리사이드(WSi2)반응기, 배기계, 텅스텐(W) 반응기로 유출되도록 한 내화금속용 저압화합증착장치의 가스공급계에 있어서, 상기 불화텅스텐(WF6), 실란(SiH4), 수소(H2), 알곤(Ar), 질소(N2) 라인에 수동밸브(10), 벌크헤드유니언(11) 및 공압밸브(6)를 설치하여 질량유량조절기(5)에 접속하되 상기 불화텅스텐(WF6), 실란(SiH4), 수소(H2)에는 역지밸브(8)와 수동밸브(19)(20)(21) , 바이패스라인(13)을 설치하고, 상기 질소(N2) 라인에는 압력스위치(7) 및 공압밸브 (15), 수동밸브(16), 벌크헤드유니언(11)을 설치하여 반응기선택 밸브(2) (3)(4)의 분지관(23)에 연결하고, 상기 불화텅스텐(WF6) 라인에서 각 반응기까지의 라인에는 히팅 테이프(14)와 벨로우즈(12)를 접속시켜 박막을 정확하고 안전하게 성장할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 내화금속용 저압화학증착장치의 가스공급계

제1항에 있어서, 각 질량유량조절기(5) 전단에 공압밸브(6)를 설치하여 유량을 정확히 조절할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 내화 금속용 저압화학증착장치의 가스공급제

제1항에 있어서, 상기 불화텅스텐(WF6), 실란(SiH4) 라인상에 질소(N2) 유입라인, 바이패스라인(13), 배기라인, 공압밸브(22), 역지밸브(18), 수동밸브(19)(20) (21) 및 히팅 테이프(14)를 설치하여 질량유량조절기(5)의 유지보수를 간편히 할 수 있도록 하고 안전대책을 구비한 것을 특징으로 하는 내화금속용 저압화학증착장치의 가스공급계

제1항에 있어서, 질소(N2) 라인상에 평상시 열린상태의 공압밸브(15), 수동밸브(16), 그리고 주관의 끝단에 반응기 선택밸브(2)(3)(4)를 설치하여 전원 차단시 반응기가 자동으로 세척되고 잔류가스가 반응기와 격리되도록 한 것을 특징으로 하는 내화금속용 저압화학증착장치의 가스공급계

제1항에 있어서, 반응기선택밸브(2)(3)(4)를 설치하여 텅스텐(W)과 텅스텐 실리사이드(WSi2) 공정간에 오염을 최소로 줄일 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 내화금속용 저압화학증착장치의 가스공급계