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수소화물가스용크랙커셀

  • 기술번호 : KST2015073590
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/00 (2006.01)
CPC C30B 25/14(2013.01) C30B 25/14(2013.01)
출원번호/일자 1019910006689 (1991.04.25)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0081802-0000 (1995.01.25)
공개번호/일자 10-1992-0020587 (1992.11.21) 문서열기
공고번호/일자 1019940010147 (19941022) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.04.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박경호 대한민국 대전직할시중구
2 박성주 대한민국 대전직할시중구
3 심재기 대한민국 대전직할시유성구
4 유병수 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1991.04.25 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038894-71
2 특허출원서
Patent Application		 1991.04.25 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038892-80
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.04.25 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038893-25
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1992.05.20 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038895-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1994.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0014124-86
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1994.04.29 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038896-62
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1994.05.30 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038897-18
8 의견서
Written Opinion		 1994.06.29 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038898-53
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1994.06.29 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038899-09
10 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0014125-21
11 등록사정서
Decision to grant		 1995.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0014126-77
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

화합물 반도체 에피탁시 박막 제조용 CBE 및 GSMBE 시스템에 사용되는 가수분해장치에 있어서, 플렌지 측면에 가스관통용 구멍(9a)를 천설하여 외부로부터의 원료가스를 공급하는 가스주입관(9)을 설치하고, 상기 플렌지의 중심을 계단형으로 하여 가스관통용 시레믹관(7)과 상기 가스관통용 시레믹관(7)을 지지해 주는 스텐레스 스틸관(14)이 설치되는 가스주입용 플렌지부(3)와 ; 상기 가스주입용 플렌지부(3)으로부터 원료가스를 상부로 전달하는 시레믹관(7)의 외측부에는 스프링형태의 가연용 필라멘트(6)와 열차단용 리플렉터(10)가 설치되고, 그 내부측에는 가스의 충돌횟수를 늘리고 주입관(9)의 압력과 증착실의 초고진공과의 압력차 및 빠른 응답특성을 갖도록 미세구멍(17a)이 천설된 베플(17)이 다단계로 설치되어 구성된 가스분해장치부(4)와 ; 상기 가스분해장치부(4)의 필라멘트(6)에 전원을 공급하기 위한 리이드선(16)과 시레믹관(7)의 온도측정을위한열전대(8)의 출력 리드선이 연결되는 다수의 구리선(5)이 시레믹으로 플렌지부 본체에 절연 고정된 전기적 피이드 스로우용 플렌지부(2)를 포함하는 수소화물 가스용 크랙커 셀

2 2

제 1 항은 있어서, 가스분해장치(4)의 열차단 리플렉터1(0)의 하단은 3개의 전원 열전대 리드선용 루미나 시레믹관(11)이 통과할 수 있는 구멍이(10c)이 있고, 가장자리 부분은 꺽음쇠 형태로 되어 상단 리플렉터(10)와 결합되게 하며, 리플렉터(10)가 필라멘트(6)나 증착실의 내벽에 닿지 않도록 함을 특징으로 하는 수소화물 가스용 크랙커 셀

3 3

제 1 항에 있어서, 열분해 특성과 가스빔의 안정성을 향상시키기 위해서 사용된 베플(17)은 직경이 0

4 4

제 1 항에 있어서, 필라멘트(6)에 의해 시레믹관(11)에 형성된 고온부위에서 외부로 방출되는 복사열을 차단하는 열차단 리플렉터(10)에 의하여 고효율의 열분해 특성이 있고, 길게 연장된 시레믹관(7)에 의하여 고온인 알루미나 시레믹관(11) 고온부의 열이 하부구조인 가스 주입용 플랜지부(4)와 전기적 피드스오우용플렌지부(2)등과 같은 타부위로 전달됨을 방지하는 구조를 가진 수소화물 가스용 크랙커 셀

5 5

제 1 항에 있어서, 가스분해장치부(4)에 사용되는 열차단용 리플렉터(10)와 베플(17) 및 필라멘트(6)은 고용융점을 갖는 탄탈륨(Ta)이고, 원료가스의 전달 및 반응이 이루어지는 시레믹관(11)은 알루미나 재질에 의해 형성하며, 가스주입관(9) 및 플렌지부는 스텐레스스틸로 하여 초고진공 조건에서 가스발생이 없도록 함을 특징으로 하는 수소화물 가스용 크랙커 셀

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.