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진공급속열처리장치

  • 기술번호 : KST2015073656
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 차세대 반도체 제조공정을 위한 장치로써 초박막(Ultra Very Thin Film)형성 및 표면의 오염원제거와 계면에서 양질(High Quality)의 접합성 박막을 제조하기 위해 사용되는 진공급속 열처리장치에 관한 것으로 기존 급속 열처리장치의 챔브길이를 길게하고 열원의 할로겐램프는 짧게 구비하고 챔브내부의 열을 밖으로내보내는 배기구에 연결되어 냉각수라인에 의해 연결하고 일측에 포토와 불순물을 제거하는 오일필터와 상기 오일필터와 클램프에 의해연결된 진공펌프를 포함하는 진공부를 구비한 진공급속 열처리장치를 구성한 것이다.
Int. CL H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67109(2013.01) H01L 21/67109(2013.01)
출원번호/일자 1019910024774 (1991.12.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0080391-0000 (1994.12.14)
공개번호/일자 10-1993-0014840 (1993.07.23) 문서열기
공고번호/일자 1019940008379 (19940912) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.12.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상기 대한민국 대전직할시서구
2 곽병화 대한민국 대전직할시동구
3 권오준 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135101-03
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135099-98
3 특허출원서
Patent Application		 1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135098-42
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135100-57
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1994.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065138-09
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1994.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135102-48
7 의견서
Written Opinion		 1994.05.19 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135103-94
8 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065139-44
9 등록사정서
Decision to grant		 1994.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065140-91
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

반도체 제조공정중의 하나인 급속 열처리과정을 진공상태에서 급속 열처리하는 급속 열처리장치에 있어서, 기존 급속 열처리장치의 챔버(1) 길이를 길게하고 열원인 할로겐램프(2)는 짧게 구비하고 챔버내부의 열을 밖으로 내보내는 배기구(6)에 연결되어 냉각수 라인(4)에 의해 외부가 감쌓이고 내측에 교호로 형성된 배펄(12)을 포함하는 냉각부와 ; 상기 냉각장치의 배출구를 클램프(14)에 의해 연결하고 일측에 포트와 불순물을 제거하는 오일필터(13)와, 상기 오일필터(13)와 클램프에 의해 연결된 진공펌프(15)를 포함하는 진공부를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 급속 열처리장치

2 2

제1항에 있어서 냉각부는, 챔버(1)내부의 열은 밖으로 내보내는 배기구(6)에 결합되고 내측에 교호로 엇갈리게 구비된 다수의 배펄(baffle) (12)과, 상기 배펄(12)을 통과하는 열을 냉각시키도록 외측을 감쌓은 냉각수 라인(4)을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공급속 열처리장치

3 3

제1항에 있어서, 진공부는, 냉각수에 연결되는 관을 플램프(14) (14a) (14b)로 연결하고, 상기 플램프(14)와 플램프(14a)사이에 포터(16)와, 플램프(14a)와 플램프(14b)사이에 불순물을 제거하는 오일필터(13)와, 상기 플램프(14b)의 일측에 구비된 진공펌프(15)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공급속 열처리장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.