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예각프리즘어레이를이용한크로스오버광배선망의평면집적방식

  • 기술번호 : KST2015073659
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자유공간 광학계의 평면집적(planar integration) 방식에 관한 것으로, 특히 거울, 렌즈, 빔분리기 등 개개의 광소자들을 공간적으로 배치하여 큰 규모로 구현되어 왔던 크로스오버(crossover) 스위칭 네트워크를 예각프리즘 어레이(acute angle prism array)를 이용하여 한장의 웨이퍼(wafer)상에 집적하는 방식에 관한 것으로써, 종래의 크로스오버 배선망의 광학계(optical system)는 주로 거울, 렌즈, 빔분리기 프리즘 등 일반적으로 쓰이는 개개의 광학 부품들을 공간상에 배치하여 구성되어 왔는데, 결과적으로 전체 규모가 크고 구성을 위한 광학부품들의 정렬정확도(alianment accuracy)를 1㎛이하로 얻기가 어렵고 구성된 후 정렬상태를 계속 유지하는 것도 매우 어려운 단점을 갖고 있다.따라서 1㎛이하의 정렬정확도와 보다 소규모로 광학계를 주장할 수 있어야만이 스위칭 네트워크에 실용이 가능한 광학적 크로스오버 배선망을 구현할 수 있다.본 발명의 목적을 종래의 요구조건을 만족시키기 위해서 기존의 전자 집적회로 제작용 리소그래피 기술을 이용한 광학계의 평면 집적 기술을 기반으로 하여 높은 정렬도와 웨이퍼 규모로 크로스오버 광배선망의 평면 집적방식을 제공하는 데 있으며, 특히 예각프리즘 어레이(Acute angle prismarray)를 이용하여 크로스오버 배선망(crossover interconnect network)의 광(optical)신호 연결 특성을 구형하는 크로스오버 광배선망의 평면 집적방식을 제공하는 것이다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01) G02B 6/12(2013.01)
출원번호/일자 1019910024778 (1991.12.28)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0089281-0000 (1995.09.18)
공개번호/일자 10-1993-0013768 (1993.07.22) 문서열기
공고번호/일자 1019950006309 (19950613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.12.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송석호 대한민국 대전직할시대덕구
2 이일항 대한민국 대전직할시유성구
3 김경헌 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135122-51
2 출원심사청구서
Request for Examination
1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135125-98
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135124-42
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1991.12.28 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135123-07
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
1994.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065151-93
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1994.11.29 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135126-33
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
1994.12.15 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135127-89
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1995.01.27 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135128-24
9 의견서
Written Opinion
1995.01.27 수리 (Accepted) 1-1-1991-0135129-70
10 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application
1995.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065152-38
11 등록사정서
Decision to grant
1995.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0065153-84
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

크로스오버 배선망의 광학계에 있어서, 유리, 실리콘 또는 갈륨비소(GaAs) 등의 기판상에 이온빔 식각기술을 이용하여 꼭지점 각도가 70

2 2

제1항에 있어서, 상기 기판내의 광신호의 전파각도를 상기 예각 프리즘의 꼭지점 각도와 같도록 한것을 특징으로 하는 예각 프리즘 어레이를 이용한 크로스오버 광배선망의 평면 집적방식

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