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산소/헬륨플라즈마를이용한실리레이티드포토레지스트의RIE건식현상공정

  • 기술번호 : KST2015073667
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음.
Int. CL G03F 7/26 (2006.01)
CPC G03F 7/36(2013.01) G03F 7/36(2013.01)
출원번호/일자 1019900008258 (1990.06.05)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0055473-0000 (1992.10.15)
공개번호/일자 10-1992-0001248 (1992.01.30) 문서열기
공고번호/일자 1019920005782 (19920718) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1990.06.05)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권광호 대한민국 대전시중구
2 윤선진 대한민국 대전시유성구
3 박병선 대한민국 대전시대덕구
4 전영진 대한민국 대전시유성구
5 강상원 대한민국 대전시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1990.06.05 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049599-29
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1990.06.05 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049600-99
3 특허출원서
Patent Application		 1990.06.05 수리 (Accepted) 1-1-1990-0049598-84
4 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1992.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025477-00
5 등록사정서
Decision to grant		 1992.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1990-0025479-91
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
1 1

기판(1)위에 색소가 포함된 플라즈마스크 감광막(2)을 4100 rpm에서 1

2 2

제1항에 있어서, 실리레이션 에이전트 확산층(5)을 형성할때 실리레이션 에이전트를 공기 또는 N2로 희석시킨 증기내에서 실리레이션을 수행하도록 한 O2/He플라즈마를 이용한 실리레이티드 포토레지스트의 RIE건식현상공정

3 3

제1항에 있어서, 건식식각을 수행할때 O2에 He를 첨가한 상태에서 RIE를 이용한 건식식각을 수행하도록 한 O2/He플라즈마를 이용한 실리레이티드 포토레지스트의 RIE건식현장공정

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP05343307 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP5343307 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 JPH05343307 JP 일본 DOCDBFAMILY
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