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CBE/ALE성장장치용진공시스템

  • 기술번호 : KST2015073882
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/00 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1019910006553 (1991.04.24)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0081813-0000 (1995.01.25)
공개번호/일자 10-1992-0020585 (1992.11.21) 문서열기
공고번호/일자 1019940010154 (19941022) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.04.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성주 대한민국 대전직할시중구
2 심재기 대한민국 대전직할시유성구
3 박경호 대한민국 대전직할시중구
4 유병수 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1991.04.24 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038032-42
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.04.24 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038033-98
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1991.04.24 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038034-33
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1992.05.20 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038035-89
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1994.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0013745-40
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1994.04.29 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038036-24
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1994.05.30 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038037-70
8 의견서
Written Opinion		 1994.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038039-61
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1994.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1991-0038038-15
10 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0013746-96
11 등록사정서
Decision to grant		 1995.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0013747-31
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

기판의 성장실과 로드록/분석실(B)를 구비한 반도체 제조장비의 CBE/ALE 성장장치에 있어서, 상기 로드록/분석실(B)에서 상기 성장실(A)로 기판을 이동하기 위한 기판이송수단과 ; 상기 성장실(A)과 로드록/분석실(B)내의 초진공상태의 유지와, 반응성이 강한 유독한 원료기체 및 부수 생성물을 배기하기 위한 펌프수단과 ; 상기 성장실(A)내의 에피택시 성장시 시료표면 및 기체의 분석을 위한 실시간 분석수단을 포함하는 CBE/ALE 성장장치 진공시스템

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 기판이송수단은 상기 로드록/분석실(B)의 일측에 설치한 초진공용 수송장치인 롱 매니퓰레이터(Long Manipulator ; 11)와, 상기 성장실(A)와 로드록/분석실(B) 사이의 상호 오염을 방지하기 위한 게이트 밸브(9)로 구성한 CBE/ALE 성장장치 진공시스템

3 3

제 2 항에 있어서, 상기 펌프수단은 상기 성장실(A)에 연결된 터보분자펌프(5)와, 상기 로드록/분석실(B)에 각각 연결된 흡착펌프(13) 및 이온펌프(14)와, 상기 성장실(A)과 상기 로드록/분석실(B)이 서로 공유하도록 상기 성장실(A)와 상기 이온펌프(14) 사이에 연결된 티타늄 승화펌프(8)와, 상기 펄스들과 상기 성장실(A) 및 상기 로드록/분석실(B)사이의 연결부위를 각각 형성한 게이트 밸브(5),(13),(7),(12)로 구성된 CBE/ALE 성장장치 진공시스템

4 4

제 1 항에 있어서, 상기 실시간 분석수단은 에피택시의 표면구조 및 원료가스, 잔류가스의 구조분석을 위하여 에피택시성장이 일어나는 곳에 위치시킨 각각의 포인트 (2),(15),(16)와, 박막의 두께 및 조성분석을 위해 레이저빔이 시편표면에 도달하여 반사되는 각도에서 위치시킨 각각의 포트(3),(4),(17)과, 기판을 향한 복수개의 셀포트(1)로 구성한 CBE/ALE 성장장치 진공시스템

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.