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엑시머레이저증착장치

  • 기술번호 : KST2015073886
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/28(2013.01)
출원번호/일자 1019910024507 (1991.12.26)
출원인 한국전자통신연구원, 주식회사 케이티
등록번호/일자 10-0082645-0000 (1995.02.22)
공개번호/일자 10-1993-0014776 (1993.07.23) 문서열기
공고번호/일자 1019940011098 (19941123) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.12.26)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 주식회사 케이티 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 성건용 대한민국 대전직할시중구
2 서정대 대한민국 대전직할시유성구
3 강광용 대한민국 대전직할시대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전직할시유성구
2 한국전기통신공사 대한민국 서울시종로구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1991-0133759-77
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1991-0133758-21
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1991.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1991-0133760-13
4 특허출원서
Patent Application		 1991.12.26 수리 (Accepted) 1-1-1991-0133757-86
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0064508-10
6 등록사정서
Decision to grant		 1995.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0064509-66
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.20 수리 (Accepted) 4-1-1999-0010652-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2000.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2000-0005008-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2002-0032774-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.03.13 수리 (Accepted) 4-1-2009-5047686-24
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2010-5068437-23
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2012-5005621-98
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5058926-38
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.06.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5122434-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2013-5106568-91
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-5018159-78
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

엑시머 레이저 증착기에 있어서, 타겟 부착기 포트(19), 기판 가열기 이송장치(26), 레이저 입사창(16)이 부착된 증착실(1)과 ; 1×10-7 Torr의 진공도를 얻을 수 있으며 질량분석기(2)를 배기시키는 진공배기계와 ; 산소압을 수백 mTorr에서 수백 Torr까지 조절할 수 있는 가스공급계로 구성된 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 증착장치

2 2

제 1 항에 있어서, 증착실은 타겟 부착기(19), 기판과 타겟간의 거리를 조절할 수 있는 기판 가열기 이송장치(26), 타겟 표면에 대한 엑시머 레이저빔의 입사각이 45°가 되도록 위치시킨 레이저 입사창(16)을 구성한 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 증착장치

3 3

제 1 항에 있어서, 진공배기계는 증착실의 압력을 대기압에서 1×10-7 Torr까지 얻을 수 있으며 증착시 타겟에서 방출되는 물질의 질량분석을 위한 질량분석기(2)를 동시에 배기시키기 위한, 터보분자 펌프(5), 로타리 펌프(7), 포어라인 밸브(6), 라이핑 밸브(8), 질량분석기 배기밸브(4)를 구성한 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 증착장치

4 4

제 1 항에 있어서, 가스공급계는 산소압을 수백 mTorr에서 수백 Torr까지 조절하기 위한 가스라인 밸브(9), 가스유량 조절기(10),(11), 가스공급 밸브(13),(14)와 산소공급 밸브(15)를 구성한 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 증착장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.