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CBE/ALE시스템용시편홀더장치

  • 기술번호 : KST2015073894
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 내용 없음.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1019910008667 (1991.05.27)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0083652-0000 (1995.04.03)
공개번호/일자 10-1992-0022381 (1992.12.19) 문서열기
공고번호/일자 1019940011744 (19941223) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1991.05.27)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 심재기 대한민국 대전직할시유성구
2 박성주 대한민국 대전직할시중구
3 박경호 대한민국 대전직할시중구
4 유병수 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1991.05.27 수리 (Accepted) 1-1-1991-0049777-95
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1991.05.27 수리 (Accepted) 1-1-1991-0049778-30
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1991.05.27 수리 (Accepted) 1-1-1991-0049779-86
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1992.05.20 수리 (Accepted) 1-1-1991-0049780-22
5 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1994.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0019187-13
6 등록사정서
Decision to grant		 1995.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1991-0019188-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

시편을 운반하는 기능의 롱매니플레이터(1)의 끝부위에 결합되어 웨이퍼가 장착되는 시편장착판(2)을 홀딩하도록 "♂"자 모양의 홈(3)이 구비된 시편운반홀더(4)를 형성하고, 웨이퍼가 장착되며 고정막대(5)가 3방향으로 외주면에 돌설되고 이동식 크립(6)을 이용하여 작고 큰 시편을 장착할 수 있는 시편장착판(2)과 ♀자 모양의 홈(7)이 형성되어 가열판(9), 반사체(10)가 고정나사(11)에 의해 체결됨과 베어링(12) 베벨기어 들로 구성된 시편홀더(8)와, 상기 시편홀더(8)의 내측에 가열판(9)과 정밀 매니플레이터의 주축(14)에 베어링(12)이 내삽되고 상기 베벨기어(13)의 내측에 전원공급선(15)과 써모커플선(16)를 삽입하여 360°회전시 꼬임을 방지할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 CBE/ALE 시스템용 시편홀더 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.