3개의 힌지(18) 각각을 중심으로 하여 회전하는 레버(17)의 상승 및 하강에 의해 웨이퍼 반송장치(11)로부터 공급된 웨이퍼(12)를 고정시키기 위한 진공 척(15)의 웨이퍼 부상장치에 있어서, 상기한 진공 척(15)의 원통면 외곽에 설치된 고정 프레임(16)과, 상기한 레버(17)의 일측에 부설된 3개의 반발 자석(19)과, 상기한 레버(17)의 타측과 고정 프레임(16)의 일측 사이에 입설되어 레버(17)에 반발력을 부여하기 위한 판 스프링(20)과, 상기한 고정 프레임(16)의 외주부에 회전가능하게 설치되고 상기한 반발자석(19)에 대향하는 일측에 상기한 레버(17)에 부설된 반발자석(19)을 밀어주기 위한 3개의 고정자석(21)이 매립된 회전프레임(22)과, 상기한 고정 프레임(16)과 회전 프레임(22)의 접촉면에 입설되어 회전 프레임(22)의 원활한 회전을 제공하기 위한 스텐레스 볼(24)과, 상기한 회전 프레임(22)의 외측에 부설되고 상기한 회전 프레임(22)에 회전력을 전달하기 위한 돌출 레버(23)와, 상기한 돌출 레버(23)를 밀어주기 위한 솔레노이드(25)와, 상기할 솔레노이드(25)의 일단에 연결되어 솔레노이드(25)의 동작을 지연시키기 위한 완충 스프링(25)으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 부상장치

3개의 힌지(18) 각각을 중심으로 하여 회전하는 레버(17)의 상승 및 하강에 의해 웨이퍼 반송장치(11)로부터 공급된 웨이퍼(12)를 고정시키기 위한 진공 척(15)의 웨이퍼 부상장치에 있어서, 상기한 진공 척(15)의 원통면 외곽에 설치된 프레임(27)과, 상기한 레버(17)의 일측과 프레임(27)의 일측 사이에 입설되어 레버(17)에 반발력을 부여하기 위한 판 스프링(20)과, 상기한 레버(17)의 하부에 관통 설치되고 상기한 프레임(27)의 외주연을 따라 연결되어 상기한 프레임(27)의 일측에 설치된 솔레노이드(25)와 연결되어 레버(17)를 오무려주기 위한 와이어 로프(28)와, 상기한 와이어 로프(28)를 당겨주기 위한 솔레노이드(25)오, 상기한 프레임(27)의 일측에 구비되고 상기한 와이어 로프(28)의 솔레노이드(25)에의 진행을 안내하기 위한 가이드 롤러(29)로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 부상장치