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표면분석장비의가스주입장치

  • 기술번호 : KST2015073992
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시료의 표면분석 장비에 관한 것으로 시료의 깊이분포 분석시 분석챔버내로 가스주입을 위한 샘 밸브와 상기 이온총 사이에 장착된 전기밸브와, 상기 전기밸브를 제어하는 제어수단을 포함한 것을 특징으로 하는 표면분석 장비의 가스주입 장치이다.
Int. CL G01N 23/00 (2006.01)
CPC G01N 23/083(2013.01)
출원번호/일자 1019920023350 (1992.12.04)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0106737-0000 (1996.10.28)
공개번호/일자 10-1994-0015506 (1994.07.21) 문서열기
공고번호/일자 1019960009759 (19960724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1992.12.04)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박형호 대한민국 대전광역시 중구
2 곽병화 대한민국 대전직할시대덕구
3 권오준 대한민국 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1992.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126752-28
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126751-83
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126749-91
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126750-37
5 특허출원서
Patent Application		 1992.12.04 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126748-45
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126753-74
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1995.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0041812-47
8 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1995.10.16 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126754-19
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1995.11.15 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126755-65
10 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1995.12.15 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126756-11
11 지정기간연장승인서
Acceptance of Extension of Designated Period		 1995.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0041813-93
12 의견서
Written Opinion		 1996.01.15 수리 (Accepted) 1-1-1992-0126757-56
13 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1996.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0041814-38
14 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0041817-75
15 등록사정서
Decision to grant		 1996.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0041818-10
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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시료의 표면 깊이 분포 분석장비로서 시료가 장착되는 분석챔버(1)와 ; 상기 분석챔버(1)의 일측에 에너지 입사를 위한 X-선원(2)과 ; 전자의 운동에너지값을 확인하는 검출기(3)와 ; 상기 분석챔버(1)내로 가스주입을 위한 샘밸브(12)와 이온총(4)을 포함하는 표면 분석장비에 있어서, 상기 샘밸브(12)와 상기 이온총(4)의 관로 사이에 장착되어 표면 분석시에는 가스를 차단하고, 표면 식각시에만 흐르게 하는 전기밸브(13)와 ; 상기 전기밸브(13)를 주어진 조건에 따라 컴퓨터에 의해 자동 제어하도록 하는 제어수단을 포함한 것을 특징으로 하는 표면 분석장비의 가스주입 장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.