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반도체제조용클러스터장비의위치정렬장치

  • 기술번호 : KST2015074029
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 공정을 통합하기 위한 반도체 제조장치에 관한 것으로 특히 치구를 사용하여 웨이퍼 반송장치와 공정모듈간의 위치를 정렬할 수 있는 반도체 제조용 클러스트 장비의 위치정렬장치에 관한 것이다.종래의 클러스트는 웨이퍼 반송장치를 통해 공정챔버 내에 웨이퍼 정렬을 위한 입출력이 육안관찰에 의한 피동적인 방법으로 정량적으로 이루어지지 않으므로 공정챔버의 중심에 정확히 놓이지 않는 단점이 있었다.본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 웨이퍼 반송로봇이 내장된 공통된 하나의 반송챔버나 다수의 격리밸브 및 부대 진공장치로 구성되는 클러스터 플랫폼과 이의 각 부착면에 다수의 공정모듈 및 카세트모듈 등의 부착모듈들이 장착되는 형태로 구성되어지는 복합 반도체 제조장비에 있어서, 상기 웨이퍼의 반송을 위한 반송로봇과 상기 공정모듈들간의 위치를 정렬하기 위해 각 공정모듈 내에 위치정렬치구를 장착하여, R, θ좌표를 추출하여 정렬하는 반도체 제조용 클러스트 장비의 위치정렬장치이다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01)
출원번호/일자 1019930029355 (1993.12.23)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0133489-0000 (1997.12.22)
공개번호/일자 10-1995-0021334 (1995.07.26) 문서열기
공고번호/일자 (19980423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.12.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전치훈 대한민국 대전직할시유성구
2 김윤태 대한민국 대전직할시유성구
3 정기로 대한민국 대전직할시대덕구
4 박희복 대한민국 대전직할시대덕구
5 임태영 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147090-83
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147089-36
3 특허출원서
Patent Application		 1993.12.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147088-91
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.23 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147091-28
5 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.03.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147092-74
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070102-53
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1997.06.30 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147093-19
8 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147094-65
9 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1997.07.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147095-11
10 지정기간연장승인서
Acceptance of Extension of Designated Period		 1997.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070103-09
11 의견서
Written Opinion		 1997.08.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147097-02
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.08.29 수리 (Accepted) 1-1-1993-0147096-56
13 등록사정서
Decision to grant		 1997.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0070104-44
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

웨이퍼 반송로봇이 내장된 공통된 하나의 반송챔버와 다수의 격리밸브 및 부대 진공장치로 구성되는 클러스터 플랫폼과 이의 각 부착면들에 다수의 공정모듈(공정챔버) 및 카세트모듈(카세트챔버) 등의 부착모듈들이 장착되는 형태로 구성되어지는 복합 반도체 제조장비에 있어서, 상기 웨이퍼의 반송을 위한 상기 웨이퍼 반송장치(반송로봇)와 상기 공정모듈들간의 위치를 정렬하도록 위치정렬치구를 포함하되, 상기 위치 정렬치구는, 하부에 복수개의 장착구멍과 상부중심에 지지봉(204)과 일측에 장입손잡이(212)가 형성된 지지대(203)와, 십자형으로 각각 4개로 구성된 탄성막대(207)와, 상기 탄성막대(207)의 중심과 상기 지지봉(204)에 체결고정되는 탄성막대 지지봉(206)과, 상기 탄성막대(207)에 부착되는 스트레인 게이지(208)와, 상기 탄성막대(207)의 끝단에 슬라이드 기구로 체결되는 원통(205)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 클러스터 장비의 위치정렬장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 위치정렬치구는, 공정챔버의 반송챔버 중심에 대한 반경방향 및 회전방향의 좌표를 추출하도록 스트레인 게이지가 사용되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 클러스터 장비의 위치정렬장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.