맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

주사관통현미경을이용한미세패턴형성방법

  • 기술번호 : KST2015074045
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자를 제작하는데 있어 주사 관통 현미경(STM)을 이용한 미세패턴 형성방법에 관한 것으로서, 종래의 리소그라피 방법들은 고진공 상태에서 고가의 장비 설치, 고 에너지의 빔을 이용, 최소선폭이 최고 수백 A등의 문제가 있었기에 이를 해결하기 위하여, 본 발명에서는 갈륨비소 표면을 유황원자들로 패시베이트 되게 하고(단계 a), 주사 관통 현미경(STM)에 의한 상기 유황원자들의 탈착을 유도하고(단계 b), 상기 유황원자들이 탈착된 소정 패턴(20)이 공기중의 산소와 반응하여 옥사이드층(30)을 형성하고(단계 c), 상기 남아있는 유황원자들의 가열에 의한 탈착공정을 통하여 소정의 미세패턴(30)을 형성하는(단계 d) 상기 각 단계들을 제공하여 저가의 장비로 공기중에서도 공정이 가능하고, 낮은 에너지가 이용되며, 최소선폭이 수 Å 정도를 갖게 하는 효과들을 갖게 함으로써 원자단위의 패턴 제작이 가능하다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01J 37/3174(2013.01) H01J 37/3174(2013.01)
출원번호/일자 1019930024335 (1993.11.16)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0127966-0000 (1997.10.28)
공개번호/일자 10-1995-0015574 (1995.06.17) 문서열기
공고번호/일자 1019970011052 (19970705) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1993.11.16)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 하정숙 대한민국 대전직할시대덕구
2 박성주 대한민국 대전직할시유성구
3 이일항 대한민국 대전직할시유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 이화익 대한민국 서울시 강남구 테헤란로*길** (역삼동,청원빌딩) *층,***,***호(영인국제특허법률사무소)
3 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1993.11.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124575-31
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1993.11.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124576-87
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1993.11.16 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124577-22
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.02.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124578-78
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1996.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0056056-11
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 1997.02.18 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124579-13
7 의견서
Written Opinion		 1997.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124580-60
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1997.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124581-16
9 출원인정보변경 (경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1997.04.21 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124582-51
10 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1997.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0056057-67
11 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1997.07.28 수리 (Accepted) 1-1-1993-0124583-07
12 등록사정서
Decision to grant		 1997.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1993-0056058-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

갈륨비소 표면 위에 옥사이드(oxide) 형성을 막기 위해서 유황원자들로 표면을 안정화시키는 단계(a)와; 그 안정화된 갈륨비소 표면에 주사관통현미경(STM)의 금속 팁(10) 을 접급시킨 후, 소정의 전압펄스를 발생시킴으로써 원하는 패턴(20)으로 유황원자들이 탈착된 갈륨비소 표면을 부분적으로 형성하는 단계(b)와; 유황원자들이 탈착된 갈륨비소 표면을 공기중의 산소와 반응시켜 소정 패턴의 옥사이드층(30)을 형성하는 단계(c)와; 상기 단계(c)에서 남은 유황원자들을 진공중에서 가열에 의해 제거하여 옥사이드층(30)으로 된 미세패턴만을 형성하는 단계(d)를 포함하고, 상기 단계(a) 내지 단계(c)는 공기중에서 이루어진 것을 특징으로 하는 주사관통 현미경을 이용한 미세패턴 형성 방법

2 2

제1항에 있어서, 상기 소정의 전압펄스는 수 eV의 저 에너지를 이용한 것을 특징으로 하는 주사관통 현미경을 이용한 미세패턴 형성 방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.