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결정방향이 상이한 두 기판(201, 204)에 산화막(202)을 개재시켜 접합하는 공정(a)과, 상기 기판중 한 방햐의 기판(204)을 소정의 다이어프램(207) 두께로 박막화하는 공정(b)과,상기 기판(201)에 식각보호 마스크를 이용하여 상기 기판(201)의 소정부분에이방성 식각용액으로 선택적 식각하여 수압부(205)를 형성하고, 이 수압부(205)를 통해 식각을 계속하여 상기 산화막(202)의 일부가 제거되어 공간영역(206)을 형성하는 공정(d)을 포함하는 기판접합기술을 이용한 압력센서 감지부 제조방법
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하나의 방향을 갖는 기판(301)외에 산화막(302)을 형성하고, 다이어프램 영역만큼 산화막(302)에 공간영역(308, 303)을 형성하는 공정(a)과, 상기 기판(301)과 결정방향이 상이한 기판(304)을 접합시키는 공정(나)과, 상기 기판(301)을 소정의 다이어프램(306) 두께로 박막화하여, 상기 기판(304)에 식각보호 마스크를 형성하고, 이방성 식각용액을 이용하여 선택적으로 식각하여 소정부분의 수압부(307)를 형성하는 공정(다)을 포함하는 기판접합기술을 이용한 압력센서 감지부 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 산화막(202, 302)이 상기 수압부(205, 307)가 형성된 기판(201, 304)과 상기 다이어프램(207, 306)의 공간영역(206, 308)을 결정함으로써 상기 다이어프램(207, 306)의 면적이 결정되는 것을 특징으로 하는 기판접합기술을 이용한 압력센서 감지부 제조방법
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