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전원을 공급받아 회전하는 모터와, 이 모터에 의해 회전하되 웨이퍼를 고정하는 고정판과, 상기 고정판을 수용하는 하우징과, 상기 하우징을 통하여 상기 고정판에 놓인 웨이퍼에 평탄화용 SOG 물질을 주입하는 SOG 물질 주입부를 포함하여 상기 고정판의 회전으로 SOG 물질이 상기 웨이퍼상에 도포되게 하는 반도체 제조장치에 있어서, 상기 웨이퍼의 가장자리면에 열에너지를 공급하는 열에너지 공급수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 열에너지 공급수단은 전원을 제공하는 전원공급부와, 상기 웨이퍼의 가장자리면에서 소정 간격으로 위치하되 상기 전원에 의해 열에너지를 발생하는 발열부로 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 발열부는 상기 웨이퍼의 상면의 가장자리에 열을 공급하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 발열부는 상기 웨이퍼의 상하부면의 가장자리에 열을 공급하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 웨이퍼의 상면은 평탄화용 SOG 물질이 도포되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 발열부는 상기 웨이퍼의 상면에 열을 공급하되, 상기 웨이퍼의 가장자리에서 중심으로 이동되게 하는 이동수단을 부가한 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항에 있어서, 상기 발열부는 상기 웨이퍼의 대향하는 양면의 가장자리에 열에너지를 발생하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제1항에 있어서, 상기 열에너지 공급수단은 전원을 제공하는 전원공급부와, 상기 웨이퍼의 가장자리면에서 소정간격으로 위치하되 상기 전원에 의해 열에너지를 발생하는 발열부와, 상기 발열부가 상기 하우징의 측벽에서 상기 웨이퍼의 중심방향으로 이동되게 하는 발열부 지지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항 또는 제8항에 있어서, 상기 발열부는 히터코일로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항 또는 제8항에 있어서, 상기 발열부는 램프로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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제2항 또는 제8항에 있어서, 상기 발열부는 레이저 광원으로 된 것을 특징으로 하는 반도체 제조장치
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