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고주파프로우브카드용에폭시링

  • 기술번호 : KST2015074214
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 트랜지스터 등의 반도체 IC를 웨이퍼 상태(on-wafer)로 전기적 특성 및 불량여부 등을 검사하기 위한 프로우브 카드의 에폭시링에 관한 것으로, 더 구체적으로는 고속 디지탈 측정과 아날로그 신호측정이 가능한 구조의 에폭시링에 관한 것으로, 반도체 IC의 특성검사를 위한 프로우브 카드의 인쇄회로 기판과 연결되는 탐침의 말단부분이 탄성력을 갖도록 하는 에폭시링의 구조에 있어서, 탐침이 에폭시링에 의해 몰딩되는 부분의 상단부에 형성되고 탐침과 비아홀을 통하여 전기적으로 연결되는 금속 박막을 포함한 것이다.
Int. CL H01L 21/66 (2006.01)
CPC G01R 1/07378(2013.01) G01R 1/07378(2013.01) G01R 1/07378(2013.01)
출원번호/일자 1019920024999 (1992.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0102547-0000 (1996.07.24)
공개번호/일자 10-1994-0016647 (1994.07.23) 문서열기
공고번호/일자 1019960005096 (19960420) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1992.12.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기홍 대한민국 대전직할시서구
2 황인덕 대한민국 대전직할시서구
3 조경익 대한민국 대전직할시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135711-78
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135712-13
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135710-22
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135709-86
5 특허출원서
Patent Application		 1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135708-30
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent		 1994.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135713-69
7 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application		 1996.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045126-27
8 등록사정서
Decision to grant		 1996.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045127-73
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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반도체 IC의 특성검사를 위한 프로우브 카드의 인쇄회로 기판(1)과 연결되는 탐침(4)의 말단부분이 탄성력을 갖도록 하는 에폭시링(3)의 구조에 있어서, 상기 탐침(4)이 상기 에폭시링(3)에 의해 몰딩되는 부분의 상단부에 형성되고 상기 탐침(4)과 비아홀(6)을 통하여 전기적으로 연결되는 금속박막(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 프로우브 카드용 에폭시링

2 2

제1항에 있어서, 상기 탐침(4)이 지나는 외주부근의 상기 에폭시링(3)에 내장되고 상기 탐침(4)과 상기 금속박막(5) 사이에 연결되는 터미네이션용 칩저항(7)을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 프로우브 카드용 에폭시링

3 3

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속박막(5)은 두 조각으로 나누어지고, 두 조각 사이에는 각각 연결되고 동시 스위칭 잡음을 방지하기 위한 두개의 침 캐패시터(9)를 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파 프로우브 카드용 에폭시링

4 4

제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 금속박막(5)의 재질로서 구리를 사용하는 것을 특징으로 하는 고주파 프로우브 카드용 에폭시링

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.