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힌지/힌지바를이용한3축운동의단판정밀구동장치

  • 기술번호 : KST2015074224
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고집적 반도체 분야에서 이용되는 것으로 전기적 입력에 따라 운동의 원인을 제공하는 구동체, 상기 구동체의 운동을 원하는 피구동체의 운동형태로 바꾸는 운동변환기구, 그리고 피구동체 자체와 피구동체를 정해진 궤적에 따라 운동을 유도하는 안내부등 크게 보아 이상의 4부분으로 이루어진 구동장치를 피가공 또는 피측정율의 위치를 정밀하게 구동하기 위하여 전체구조를 단판(monolithic)으로 얇게 제작하여 3축 운동이 정밀하게 이루어지도록 하는 힌지를 이용한 3축 운동의 단판 정밀 구동장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01)
출원번호/일자 1019920025026 (1992.12.22)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0102541-0000 (1996.07.24)
공개번호/일자 10-1994-0016685 (1994.07.23) 문서열기
공고번호/일자 1019960005241 (19960423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1992.12.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 대전직할시중구
2 박흥옥 대한민국 대전직할시서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 대흥빌딩 ***호 (역삼동)
2 김명섭 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 *, 테헤란오피스빌딩 ***호 시몬국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인한국전자통신연구소 대한민국 대전광역시유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135937-89
2 출원심사청구서
Request for Examination
1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135939-70
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135938-24
4 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135936-33
5 특허출원서
Patent Application
1992.12.22 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135935-98
6 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1994.03.03 수리 (Accepted) 1-1-1992-0135940-16
7 출원공고결정서
Written decision on publication of examined application
1996.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045218-29
8 등록사정서
Decision to grant
1996.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1992-0045219-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2001.04.19 수리 (Accepted) 4-1-2001-0046046-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2002.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2002-0065009-76
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전기적 입력에 따라 운동의 원인을 제공하는 구동체(엑추에이터), 상기 구동체의 운동에의해 피 구동체의 운동형태로 바꾸는 운동변환기구(힌지/힌지바)와 상기 피구동체 자체와 피구동체를 정해진 궤적에 따라 운동을 유도하는 안내부들로 이루어진 정밀구동장치에 있어서, 상기 피구동체의 중심 좌우양쪽에 힌지바(14)(14a)를 각각 배치하고, 그 수직방향의 상하 위치에 "ㄱ"자 형태의 힌지바(12)(13)를 각각 배치한 상하 및 회전방향 피구동체(28)와, 상기 상하 및 회전방향 피구동체의 모서리부의에 힌지바(11)를 갖는 좌우방향 피구동체(27)와, 상기 좌우방향 피구동체를 감싸고 있는 구조체(10)를 포함하여, 상기 상하 및 회전방향 피구동체와 좌우방향 피구동체 및 구조체를 힌지와 힌지바에의해 단판(monolithic)으로 형성하여 평면화한 것을 특징으로하는 힌지/힌지바를 이용한 3축 운동의 단판정밀 구동장치

2 2

제1항에 있어서, 상기 상하 및 회전방향 피구동체(28)와 좌우방향 피구동체(27)가 구동하도록하는 엑취에이터(15)(16)의 (16a)양측단에 각각 힌지(17)(19)(18)(20)를 형성하여, 상기 힌지와 엑취에이터의 접촉되는 면에서 응력을 방지하도록 구성한 것을 특징으로하는 힌지/힌지바를 이용한 3축운동의 단판 정밀구동장치

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