요약 | 본 발명은 초고집적 반도체 분야에서 이용되는 것으로 전기적 입력에 따라 운동의 원인을 제공하는 구동체, 상기 구동체의 운동을 원하는 피구동체의 운동형태로 바꾸는 운동변환기구, 그리고 피구동체 자체와 피구동체를 정해진 궤적에 따라 운동을 유도하는 안내부등 크게 보아 이상의 4부분으로 이루어진 구동장치를 피가공 또는 피측정율의 위치를 정밀하게 구동하기 위하여 전체구조를 단판(monolithic)으로 얇게 제작하여 3축 운동이 정밀하게 이루어지도록 하는 힌지를 이용한 3축 운동의 단판 정밀 구동장치에 관한 것이다. |
---|---|
Int. CL | H01L 21/68 (2006.01) |
CPC | H01L 21/68(2013.01) H01L 21/68(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019920025026 (1992.12.22) |
출원인 | 한국전자통신연구원 |
등록번호/일자 | 10-0102541-0000 (1996.07.24) |
공개번호/일자 | 10-1994-0016685 (1994.07.23) 문서열기 |
공고번호/일자 | 1019960005241 (19960423) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1992.12.22) |
심사청구항수 | 2 |